3月18日，西安衛(wèi)光科技有限公司（衛(wèi)光科技）六吋線二期高端功率器件項目首臺重點工藝設(shè)備超薄晶圓減薄機DFG8540移入微晶微電子公司生產(chǎn)線。該設(shè)備是為滿足高端FS型IGBT器件超薄晶圓減薄工藝所需，主要用于6英寸硅片的圓片減薄工藝，可將硅片減薄至85um，同時可保證硅片的平整度。設(shè)備的引入將在推進微晶微新產(chǎn)品工藝研發(fā)、新品研制等方面發(fā)揮引領(lǐng)作用。

據(jù)衛(wèi)光科技官方微信指出，截至目前，六吋線二期項目中已有2臺輔助設(shè)備奧林巴斯顯微鏡移入生產(chǎn)線，本次重點工藝設(shè)備減薄機DFG8540的順利移入，具有里程碑意義，同時標志著六吋線二期項目的全面有序開展。微晶微電子公司全體員工，眾志成城、攻堅克難，繼續(xù)擼起袖子加油干，為確保填平補齊項目、二期項目的順利完成；為公司產(chǎn)品高質(zhì)量發(fā)展進一步拓展平臺奠定基礎(chǔ)，贏得主動。

資料顯示，西安衛(wèi)光科技有限公司（國營第八七七廠），成立于2007年元月，由原西安衛(wèi)光電工廠整體改制而來，隸屬于陜西電子信息集團。公司位于西安高新產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)電子工業(yè)園，占地面積14.7萬平方米，現(xiàn)有員工1000余人。是我國低頻大功率半導(dǎo)體器件重點骨干企業(yè)和軍用元器件研制、生產(chǎn)定點企業(yè)，也是我國最早生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的專業(yè)企業(yè)之一。

該公司目前承擔(dān)的國家重點科研生產(chǎn)項目6“VDMOS/IGBT芯片生產(chǎn)線是衛(wèi)光科技取得未來發(fā)展的重大戰(zhàn)略性建設(shè)項目，該項目總投資7億元。項目將建成軍民結(jié)合的6“VDMOS/IGBT芯片生產(chǎn)線，達到年加工6“硅片36萬片的生產(chǎn)能力，實現(xiàn)VDMOS/IGBT芯片的國產(chǎn)化、產(chǎn)業(yè)化。
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