上海福賽特自主研發(fā)的LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)將于年內(nèi)在三安生產(chǎn)線投入量產(chǎn)運(yùn)營
由上海福賽特智能設(shè)備有限公司獨(dú)立研發(fā)的LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)將于年內(nèi)在三安生產(chǎn)線投入量產(chǎn)運(yùn)營。該設(shè)備用于LED外延工藝，可實(shí)現(xiàn)晶圓從原料倉至PVD工序間，以及PVD工序到MOCVD間的周轉(zhuǎn)。
上海福賽特介紹，該設(shè)備采用行業(yè)領(lǐng)先的潔凈機(jī)器人、先進(jìn)的激光傳感器和CCD，以及自主研發(fā)的載盤尋邊器等，配合自主研發(fā)的信息化系統(tǒng)，可自動(dòng)與企業(yè)生產(chǎn)的MES系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)交互，連接各個(gè)工藝段中的獨(dú)立設(shè)備系統(tǒng)，組成閉環(huán)的智能信息化系統(tǒng)。同時(shí)，可實(shí)現(xiàn)晶圓自動(dòng)上下片、晶圓尋邊、晶圓WaferID自動(dòng)讀取和校對、生產(chǎn)工單的解批和并批等。
上海福賽特表示，即將量產(chǎn)的LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)中的機(jī)電設(shè)計(jì)、控制軟件、智能算法等十多項(xiàng)技術(shù)均由公司獨(dú)立自主研發(fā)，擁有自主知識產(chǎn)權(quán)。
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