7月26日消息，為應(yīng)對日本出口限制，韓國大企業(yè)開始展開脫日行動，SK集團(tuán)計劃通過子公司生產(chǎn)高純度氟化氫，并在明年上半年投入量產(chǎn)。

據(jù)韓國《etnews》、《朝鮮日報》等多家媒體報道，SK集團(tuán)子公司SK Mertials計劃今年完成試制品，籌備生產(chǎn)高純度氟化氫。SK Mertials相關(guān)人士表示，正在開發(fā)相關(guān)生產(chǎn)設(shè)備，目標(biāo)是在年底提供樣品。

在日本對韓出口限制名單中，氟化氫便是其中一個品項(xiàng)，韓國氟化氫有41.9％從日本進(jìn)口，其中高純度氟化氫（99.999％以上）有9成以上依賴日本。

氟化氫是半導(dǎo)體材料蝕刻氣體的原料之一，在芯片制造工程中，用于刻畫電路、清潔硅片異物，其中氣態(tài)與液態(tài)的氟化氫能夠混合使用，液態(tài)產(chǎn)品被稱為蝕刻液，氣態(tài)則是蝕刻氣體。

SK Mertials計劃制造氣態(tài)的氟化氫，即蝕刻氣體，并供應(yīng)給半導(dǎo)體業(yè)界。《etnews》指出，由于SK年底才會推出樣品，明年上半年有望投入正式量產(chǎn)。

SK Mertials自1982年起生產(chǎn)半導(dǎo)體材料，是韓國首度國產(chǎn)化三氟化氮（NF3）的企業(yè)，三氟化氮為半導(dǎo)體、顯示器、太陽能電池原料之一，此外也生產(chǎn)工業(yè)燃?xì)饬u（WF6），供貨給石油產(chǎn)業(yè)、鋼鐵產(chǎn)業(yè)。

雖然SK Mertials擁有豐富制造經(jīng)驗(yàn)，但首次生產(chǎn)氟化氫引起外界關(guān)注。SK Mertials對此表示，過去曾處理過原料氟，并累積許多相關(guān)制造經(jīng)驗(yàn)，擁有制造高純度氟化氫的實(shí)力。

SK Matials尚未公布投資規(guī)模、生產(chǎn)能力（CAPA）等細(xì)節(jié)，加上產(chǎn)品也需經(jīng)過質(zhì)量鑒定，能否應(yīng)用到半導(dǎo)體制程仍是未知數(shù)。