壓阻式傳感器的典型特點是什么
①壓阻式傳感器的靈敏系數比金屬應變式壓力傳感器的靈敏度系數要大50-100倍。有的時候壓阻式傳感器的輸出不需要放大器就可直接進行測量。
②由于它采用集成電路工藝加工,因而結構尺寸小,重量輕。
③壓力分辨率高,它可以檢測出像血壓那么小的微壓。
④頻率響應好,它可以測量幾十千赫的脈動壓力。
⑤由于傳感器的力敏元件及檢測元件制在同一塊硅片上,所以它工作可靠,綜合精度高,且使用壽命長。
⑥由于采用半導體材料硅制作,傳感器對溫度比較敏感,如不采用溫度補償,其溫度誤差較大。
壓阻式傳感器為什么會產生溫度誤差?如何補償?
壓阻式傳感器有兩種類型:一類是利用半導體材料的體電阻制成粘貼式的應變片,形成半導體應變式傳感器;另一類是在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成擴散電阻,構成敏感元件,稱為擴散型壓阻式傳感器。
壓阻式傳感器受溫度影響較大,會產生零位漂移和靈敏度漂移,因而會產生溫度誤差。
壓阻式傳感器中,擴散電阻的溫度系數較大,電阻值隨溫度變化而變化,故引起傳感器的零位漂移。
傳感器靈敏度的溫漂是由于壓阻系數隨溫度變化而引起的。當溫度升高時,壓阻系數變小,傳感器靈敏度要降低,反之,則靈敏度升高。
零位溫漂一般可用串、并聯電阻的方法進行補償。
另外,壓阻式傳感器也可將四個擴散電阻接成全橋,為了減小溫度的影響,可采用恒流源供電。
可見,電橋的輸出與電阻變化成正比,即與被測量成正比,也與電源電流成正比,輸出電壓與恒流源電流的大小和精度有關,但與溫度無關,所以恒流源有很好的溫度補償作用。