壓阻式傳感器的結(jié)構(gòu)

這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上，制成硅壓阻芯片，并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。?

硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條，并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對于膜片中心對稱。

此外，也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。?壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件。

其基片可直接作為測量傳感元件，擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。?

當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時，各電阻值將發(fā)生變化，電橋就會產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。?用作壓阻式傳感器的基片（或稱膜片）材料主要為硅片和鍺片，硅片為敏感?材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視，尤其是以測量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用最為普遍。?

壓阻式壓力傳感器產(chǎn)品推薦：

美國MEAS 硅壓阻式壓力傳感器 - 27AND37

美國MEAS 硅壓阻式壓力傳感器 27AND37 ，它采用 Measurement Specialties 的專有 UltraStable? 沖模來提供大溫度范圍內(nèi)的出色性能和長期穩(wěn)定性。 0-15 到 0-250 psi 的測量儀和壓差范圍可用。

美國MEAS 硅壓阻式壓力傳感器 - MS4425

MS4425 是一款溫度補(bǔ)償、硅壓阻式壓力傳感器，采用雙列直插式封裝，主要用于要求出色性能和長期穩(wěn)定性的成本敏感型應(yīng)用。

美國MEAS 硅壓阻式壓力傳感器 - MS4426

美國MEAS 硅壓阻式壓力傳感器 MS4426 是一款溫度補(bǔ)償、壓阻式硅壓力傳感器，采用雙列直插式封裝，主要用于要求出色性能和長期穩(wěn)定性的成本敏感型應(yīng)用。

硅壓阻式壓力傳感器 - MS5534C

MS5534C硅壓阻式壓力傳感器采用先進(jìn)的ADC模數(shù)轉(zhuǎn)換IC，提供16位的壓力和溫度數(shù)字輸出。傳感器還提供6個可讀系數(shù)用于高精度軟件校正。MS5534C的主要特點(diǎn)是低電壓、低功耗，以及自動待機(jī)（ON/OFF）功能。

硅壓阻式壓力傳感器 - 1200系列

1200系列是經(jīng)過溫度補(bǔ)償?shù)墓鑹鹤枋綁毫鞲衅鳎捎秒p列直插封裝結(jié)構(gòu)。通過激光修正電阻實(shí)現(xiàn)大范圍的溫度補(bǔ)償，以及調(diào)節(jié)差動放大器的增益來校正傳感器的壓力靈敏度變化。