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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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MEMS慣性傳感器的發展方向 MEMS加速度計是MEMS領域最早開始研究的傳感器之一。經過多年的發展MEMS加速度計的設計和加工技術已經日趨成熟。 目前...
國內最小MEMS溫濕度傳感器 在尺寸與智能方面建立了新的標準
創立于2003年9月的廣州奧松電子有限公司為國內濕度傳感器自主研發企業,是目前國內先進的應用MEMS工藝技術生產傳感器及芯片的制造商,也是廣東省MEMS...
近日,據Fact.MR的一項新研究表示,到2027年,全球MEMS傳感器市場將以9%的復合年增長率增長,達到500億美元。
腐蝕是硅微機械加工的最主要的技術 ,各種硅 微機械幾乎都要用腐蝕成型。腐蝕法分濕法腐蝕和 干法腐蝕兩大類 ,濕法腐蝕又分為溶液法及陽極法 , 干法腐蝕分...
MEMS,微機電系統,是1959年12月由理查德·費曼最早提出的概念,是將微觀模擬機械元件機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、...
微機電設備的尺寸通常在20微米到一毫米之間,它們內部通常包含一個微處理器和若干獲取外界信息的微型傳感器。
所謂開源飛控就是建立在開源思想基礎上的飛行自主控制器項目(Open Source AutoPilot),同時包含開源軟件和開源硬件,而軟件則包含飛控硬件...
據麥姆斯咨詢報道,CO2(二氧化碳)濃度是衡量室內空氣質量的關鍵指標。良好的空氣質量可以讓身處其中的人員精神更佳、生產效率更高;而CO2濃度過高則代表著...
TDK的MEMS超聲波ToF傳感器解決方案與光學ToF傳感器相比具有很多優勢
TDK 公司(TSE:6762)宣布現在可以選擇擴大了感應范圍的基于Chirp CH-201 MEMS的超聲波飛行時間(ToF)傳感器的原始設備制造商(...
中芯紹興項目計劃今年1月進入量產階段 將打造成為世界一流的特色工藝半導體代工企業
近日,紹興市領導到中芯紹興MEMS和功率器件芯片制造及封裝測試項目進行了調研。據紹興發布報道,中芯紹興項目計劃今年1月進入量產階段。
“基于體硅和薄膜技術的傳感器,執行器和換能器的壓電市場預計將在2024年達到485億美元,2018年算起的話,年復合增長率為12.6%。”Yole Dé...
先鋒和PSSI共同研發基于MEMS微鏡的3D激光雷達,將于明年上半年推出
12月24日,日本先鋒(Pioneer)和其旗下子公司PSSI聯合開發了一款可量產的3D激光雷達(LiDAR),該傳感器體積更小、測量距離更遠,具備更優...
但其實在芯片代工方面,還有很多其他不同的工藝和廠商。例如硅鍺和SOI等就是其典型代表。另外,還有如MEMS、砷化鎵等第三代半導體等工藝也是市場關注的熱點...
據北京亦莊官方消息,該項目建成后將成為北京首條商業量產、全球業界最先進的8英寸MEMS芯片生產線,最終達產后將形成月產3萬片的生產能力。
隨著物聯網進入實質性落地階段,MEMS市場需求增長明顯,全球MEMS市場突破100億美元,復合增速接近20%。
2019年即將結束,2020年我們需要關注哪些行業呢?5G應該是一個繞不開的話題,另外,自動駕駛、醫療電子等行業也應該是我們關注的重點...
ADI認為在新的潮流轉變中可以有所作為,通過提供可信的數據以獲得高效、可執行、有競爭力的洞察,幫助客戶對人工智能和預測系統的投資更具競爭力。
盡管自動駕駛業界對激光雷達仍然存在不同的聲音,但由于其創建周圍環境高清3D點云圖的能力,通常被認為是自動駕駛汽車的核心使能傳感技術之一。激光雷達通過測量...
MEMS技術無處不在,從每天使用的手機,再到未來的自動駕駛,或者智慧醫療、智慧城市等民生環節,都離不開它。
2019-12-20 標簽:mems 1269 0
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