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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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生態農業是知識密集和技術密集的領域。目前作為“電子感官”的傳感技術在農業生產、生物學研究、農藥殘留量檢測等方面得到了廣泛的應用。
隨著時間的推移,壓力傳感器系統的電子器件,被集成至含有處理器的 IC 中,成本和尺寸都獲得縮減。汽車公司現在可以提供一個連接到安全氣囊裝置的完整系統。雖...
Unispectral可調諧MEMS濾光器實現低成本紅外相機的單光譜成像
該產品主要由組裝在攝像機模塊上的可調諧MEMS濾光器和控制板組成。RaspberryPi用于捕獲參數,并通過USB和/或WiFi連接到顯示器、PC或移動...
本文研究的MEMS加速度計為壓阻式硅微加速度計,量程為10 gn,其結構如圖1所示。MEMS加速度計是由懸臂梁和質量塊以及布置在梁上的壓阻組成,呈雙端四梁結構。
市場廣闊。MEMS是繼微電子之后又一個顛覆性技術,也是被發達國家封鎖和壟斷的高新技術。MEMS技術屬于多學科交叉的前沿科技領域,具有功耗低、集成度高、耐...
據越牛新聞報道,改項目投產后將有力引領和帶動柯橋芯片產業的培育發展,助力紹興打造1000億級集成電路產業集群。
MEMS慣性器件在典型應用環境下的主要失效模式和失效機理進行分析和總結
Yang Chunhua和Liu Qin等人通過對MEMS加速度計的沖擊試驗,發現懸臂梁、梳齒的受力集中點均在根部,即連接點處。當沖擊應力引起的懸臂梁變...
Fact.MR指出,全球MEMS傳感器市場在本質上是穩固的,一些電子和半導體跨國公司(如意法半導體,博世、恩智浦和德州儀器)獲得了最大的份額。其中,意法...
睿創微納產品主要包括非制冷紅外熱成像MEMS芯片、紅外熱成像探測器、紅外熱成像機芯(成像機芯和測溫機芯)、紅外熱像儀、激光產品及光電系統。紅外MEMS芯...
MEMS的制造主要采用Si材料,它與IC的不同在于,IC是電信號的傳輸、轉換及處理,而MEMS是電信號和其他形式能量間的轉換(以機械能為典型),所以在M...
通過成立公共服務平臺,建設化合物半導體及MEMS工藝平臺,開發可產業化且具備市場競爭力的新材料、新器件、新技術和新應用,推動本地區半導體產業的發展。堅持...
MEMS與傳感器產業聯盟(MSIG)的首席戰略官Steve Whalley認為MEMS工藝不同于IC工藝,會產生許多種MEMS設計結構,進而推動MEMS...
MEMS器件利用半導體加工技術來制造三維機械結構,三種最常用的MEMS制造技術包括體微加工(Bulk Micro Machining)、表面微加工(Su...
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