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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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9月9日,中國裁判文書網刊出一份關于我國兩大MEMS傳感器巨頭——歌爾股份與敏芯股份的專利權權屬糾紛裁定書,由最高人民法院終審裁定:駁回上訴,維持原裁定...
據麥姆斯咨詢報道,韓國首爾國立大學(Seoul National University)開發了一種基于三重采樣Δ-Σ ADC的數字電容式MEMS麥克風,...
微機電系統(MEMS)是一種使能技術。它將半導體技術的多功能性與機械結構的功能融為一體,開辟了全新的應用領域。MEMS技術使智能手機能夠提供方向,或...
濕法刻蝕也稱腐蝕。硅的濕法刻蝕是 MEMS 加工中常用的技術。其中,各向同性 (Isotropic)濕法刻蝕常用的腐蝕劑是由氫氟酸(HF)、硝酸( HN...
在過去的三十年里,許多宏觀尺度的機電設備已經成功地被小型化了,就像電子集成電路(IC)從批量制造工藝和規模經濟中受益,例如:采用微機電系統(MEMS)技...
最早的傾角傳感嚴格來說并不算是傳感器,只是由底部帶導電板的滾球組成的開關。當設備傾斜的角度達到某個限度后球滾到底部,與板形成電氣連接產生指示信號。從其原...
超聲波功率放大器原理,安泰超聲功率放大器在MEMS測試的應用
功率放大器的特點: (1)信號發生器輸入的信號最大是20Vpp,通過功率放大器可以提升電壓和功率; (2)是具有可增益調節的放大器,實質是一個電壓電流放...
傳感器將MEMS壓阻式芯體和專用信號調理電路封裝在雙氣嘴結構的管殼內,降低環境對輸出的影響。
EMS傳感器被認為是汽車不可缺少的部件,它對于提升汽車性能和駕駛體驗,有著顯著作用。研究機構數據顯示,平均每輛汽車包含10個傳感器,而高級汽車會約用20...
普通的壓阻式加速度傳感器有兩個比較嚴重的缺點:一是溫度效應低,二是靈敏度低。要解決溫度效應低的問題,通常是通過溫度控制電路對溫度效應進行補償。但想要提升...
我們的ADXL367處于監測模式時,一顆鈕扣電池可以讓其持續工作143年,也就是說傳感器本身電流的消耗甚至比電池本身的自放電(電池每年基本上自放電大概是...
物聯網正在打破傳統的商業模式。我們還必須打破我們對生態系統、社區和協作的傳統定義。這種類型的交流和共享將為行業中的所有參與者帶來紅利,并釋放連接設備...
關于氣態或揮發性污染物對健康影響的新知識層出不窮,它們不斷向人們強調著對室內外空氣質量進行監測的必要性。許多揮發物即使是處于微量水平,在短時間暴露后,仍...
2022年4月底至6月初,中科院上海微系統與信息技術研究所傳感技術國家重點實驗室馮飛研究員團隊與中科院深海科學與工程研究所聯合研制的深海MEMS氣相色譜...
陶瓷管式MOS氣體傳感器自1962年被發明以來,由于技術穩健性和低成本優點,在二十世紀后半葉占據了主要的市場份額。但其較高的功耗(0.5~1W)也限制了...
在上一篇文章《MEMS壓力傳感器該如何選型?智芯傳感告訴您(一)》中,我們重點介紹了壓力傳感器選型需要考慮的三個方面的因素,即壓力傳感器的用途、壓力量程...
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