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      廠商產品 +關注129人關注

      微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

      文章：3546個 瀏覽：193240次 帖子：462個

      mems資訊

      最高法院裁定！歌爾敏芯中國兩大MEMS巨頭專利戰落下帷幕？

      9月9日，中國裁判文書網刊出一份關于我國兩大MEMS傳感器巨頭——歌爾股份與敏芯股份的專利權權屬糾紛裁定書，由最高人民法院終審裁定：駁回上訴，維持原裁定...

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        ESP8266
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