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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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一文帶你深入了解機(jī)械耐用、功耗低的MEMS開關(guān)
解決大問題需要開創(chuàng)性的技術(shù)。機(jī)電繼電器早在電報(bào)問世之初就已存在,但沒有其他替代的開關(guān)技術(shù)可滿足所有市場(chǎng)需求——特別是對(duì)于測(cè)試和測(cè)量、通信、防務(wù)、醫(yī)療保健...
MEMS超聲波換能器為何是現(xiàn)在進(jìn)入大眾市場(chǎng)?
解釋上述時(shí)間因素主要有四點(diǎn)。首先,市場(chǎng)應(yīng)用正在推動(dòng)MEMS超聲波換能器發(fā)展。由于更便宜且更小的探頭誕生,醫(yī)療超聲波成像將實(shí)現(xiàn)平民化,全科醫(yī)生甚至家庭都可...
Micralyne即將推出下一代小型化低功耗氣體傳感器的MEMS技術(shù)平臺(tái)
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,MEMS代工廠Micralyne展示了用于開發(fā)下一代氣體傳感器的MEMS技術(shù)平臺(tái)——標(biāo)準(zhǔn)的硅工藝技術(shù)和工藝模塊。
選擇陀螺儀是基于最大誤差源最小化的有意義的——在大多數(shù)應(yīng)用中,這將是振動(dòng)靈敏度。其他參數(shù)可以通過校準(zhǔn)或平均多個(gè)傳感器輕松增強(qiáng)。偏置穩(wěn)定性是誤差預(yù)算中較小...
Blickfeld基于MEMS微鏡的固態(tài)LiDAR
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,位于德國(guó)慕尼黑的LiDAR(激光雷達(dá))創(chuàng)業(yè)公司Blickfeld近日宣布將其種子輪融資提高到了1000萬美元,包括OSRAM(歐司朗)...
。在汽車領(lǐng)域,MEMS壓力傳感器營(yíng)業(yè)收入2013年預(yù)計(jì)達(dá)到12.6億美元,占當(dāng)年總體產(chǎn)業(yè)營(yíng)業(yè)收入的74%。
因?yàn)镾T選用了音叉方法設(shè)計(jì)陀螺儀,其差分特性使系統(tǒng)本身對(duì)作用在傳感器上的無用線性加速度和雜亂振動(dòng)的敏感度低于市場(chǎng)上現(xiàn)有的其它類型陀螺儀。當(dāng)這些無用的信號(hào)...
MEMS的概念和特點(diǎn)_MEMS的發(fā)展歷程和全球格局
2020年6月2日,上海證券交易所科創(chuàng)板股票上市委員會(huì)審議通過蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司發(fā)行上市申請(qǐng)。
2020-08-31 標(biāo)簽:MEMSMEMS技術(shù) 6959 0
監(jiān)控工業(yè)系統(tǒng)中MEMS振動(dòng)傳感器的構(gòu)建
監(jiān)控工業(yè)系統(tǒng)中的振動(dòng)可以提供有關(guān)設(shè)備健康狀況的寶貴數(shù)據(jù),并可以節(jié)省成本的先發(fā)制人的維護(hù),但是有許多不同的方法來構(gòu)建這樣的系統(tǒng)。可以使用簡(jiǎn)單的壓電振動(dòng)傳感...
基于MEMS工藝實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)易快速地制備不同的微陣列結(jié)構(gòu)
當(dāng)前以MEMS為基礎(chǔ)的細(xì)胞微陣列芯片受到科研人員廣泛重視。通過微加工技術(shù)在基底上構(gòu)建微尺度的圖形結(jié)構(gòu),并通過物理化學(xué)修飾對(duì)表面進(jìn)行改性,使得細(xì)胞在特定區(qū)...
SPI至RS-485/RS-422設(shè)計(jì)解決方案的詳細(xì)物理層設(shè)計(jì)注意事項(xiàng)
為MEMS實(shí)現(xiàn)有線物理層接口的常見挑戰(zhàn)包括管理EMC魯棒性和數(shù)據(jù)完整性。然而,當(dāng)在長(zhǎng)RS-485/RS-422電纜上擴(kuò)展時(shí)鐘同步接口(如SPI)時(shí),以及...
犧牲層技術(shù)自20世紀(jì)80 年代美國(guó)加州大學(xué)伯克利分校開發(fā)至今,得到了快速發(fā)展。犧牲層技術(shù)是 MEMS 工藝設(shè)計(jì)中有別于傳統(tǒng)IC制造工藝技術(shù)之一
X射線光刻(X-ray lithography)技術(shù)是什么意思
X射線光刻(X-ray lithography)技術(shù)是電子工業(yè)中用于選擇性去除一部分薄膜的工藝。使用X射線將幾何圖形轉(zhuǎn)移光敏光刻膠上。然后進(jìn)行一系列化學(xué)...
國(guó)際首臺(tái)機(jī)載激光三維強(qiáng)度關(guān)聯(lián)遙感試驗(yàn)樣機(jī)研制成功
“十三五”期間,該技術(shù)有望在新體制車載激光三維成像雷達(dá)自動(dòng)駕駛等相關(guān)領(lǐng)域進(jìn)行成果轉(zhuǎn)化。
使用 MEMS 射頻開關(guān)解決高級(jí)無線應(yīng)用的設(shè)計(jì)和集成問題
在千兆赫以上頻段的射頻設(shè)計(jì),以及建立模型和 S 參數(shù)用于仿真時(shí),合適的評(píng)估板是必要的設(shè)計(jì)工具,因?yàn)椴淮嬖谕昝赖哪P停膊豢赡茏プ?shí)際設(shè)計(jì)中所有瑣碎細(xì)節(jié)
MEMS和傳感器設(shè)備推動(dòng)了物聯(lián)網(wǎng)(IoT)在電子技術(shù)的眾多應(yīng)用中部署數(shù)十億個(gè)傳感器,這將改善我們周圍的世界并改善人類狀況。
2021-04-29 標(biāo)簽:傳感器mems傳感器系統(tǒng) 6675 0
MEMS氣壓傳感器的工作原理及在物聯(lián)網(wǎng)中的應(yīng)用
壓力傳感器有多種不同的應(yīng)用,其中最常見的應(yīng)用是氣象監(jiān)測(cè)。壓力傳感器現(xiàn)在已非常普遍。它現(xiàn)在可能就存在你的口袋里!是的,在你的手機(jī)里就有一個(gè)。你的手機(jī)使用壓...
2018-11-28 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)氣壓傳感器 6629 0
反射式MEMS VOA在光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用
可變光衰減器(VOA)是光纖通信中一種重要的光無源器件,本內(nèi)容詳細(xì)介紹了MEMS VOA在光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用。
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