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一文帶你深入了解機(jī)械耐用、功耗低的MEMS開關(guān)

analog_devices ? 來源:未知 ? 作者:佚名 ? 2017-09-01 10:20 ? 次閱讀

解決大問題需要開創(chuàng)性的技術(shù)。機(jī)電繼電器早在電報問世之初就已存在,但沒有其他替代的開關(guān)技術(shù)可滿足所有市場需求——特別是對于測試和測量、通信、防務(wù)、醫(yī)療保健和消費類市場中智能性和互聯(lián)性更強(qiáng)的應(yīng)用需求。

作為不斷增長的市場需求的一個例子,測試和測量終端用戶要求多標(biāo)準(zhǔn)測試解決方案的尺寸盡可能最小,在0 Hz/dc至數(shù)百GHz的頻率范圍內(nèi)需要實現(xiàn)最高并行測試。機(jī)電繼電器的帶寬窄、動作壽命有限、通道數(shù)有限以及封裝尺寸較大,因此對系統(tǒng)設(shè)計人員的限制日益增大。

微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)具有創(chuàng)新性,可以替代繼電器并將行業(yè)推向更高水平。憑借內(nèi)部最先進(jìn)的MEMS開關(guān)制造設(shè)備,ADI公司目前可以批量生產(chǎn)高性能的快速小型MEMS開關(guān),此類開關(guān)的特點是機(jī)械耐用、功耗低且具有靜電放電 (ESD) 保護(hù)功能。

MEMS開關(guān)技術(shù)

ADI MEMS開關(guān)技術(shù)的關(guān)鍵是靜電驅(qū)動的微機(jī)械加工黃金懸臂梁開關(guān)元件概念。可以將MEMS開關(guān)視作微米尺度的機(jī)械繼電器,其金屬對金屬觸點通過高壓直流靜電驅(qū)動。

圖1顯示了單個MEMS開關(guān)懸臂的特寫圖。其中可看到并聯(lián)的的五個觸點和具有下面有空隙的鉸鏈結(jié)構(gòu)。這一開關(guān)設(shè)計用于ADGM1304單刀四擲 (SP4T) MEMS開關(guān)和具有增強(qiáng)型ESD保護(hù)性能的ADGM1004SP4T開關(guān)。

圖1. 特寫圖顯示了一個MEMS懸臂開關(guān)梁

ADI設(shè)計了一個配套驅(qū)動器集成電路 (IC),以產(chǎn)生驅(qū)動開關(guān)所需 的高直流電壓,保證快速可靠的驅(qū)動和長使用壽命,并使器件易 于使用。

圖2顯示了采用超小型SMD QFN封裝的MEMS芯片和驅(qū)動器IC。被封裝在一起的驅(qū)動器功耗非常低——典型值為10 mW,比RF繼電器的典型驅(qū)動器要求低10倍。

圖2. ADGM1004增強(qiáng)型ESD保護(hù)MEMS開關(guān)

集成ESD保護(hù)

借助ADGM1304 MEMS開關(guān)產(chǎn)品,ADI開發(fā)了ADGM1004 MEMS開關(guān),通過集成固態(tài)ESD保護(hù)技術(shù)來增強(qiáng)RF端口ESD性能。ADGM1004開關(guān)的RF端口人體模型 (HBM) ESD額定值已增加到5 kV。這個級別的ESD保護(hù)可謂MEMS開關(guān)行業(yè)首創(chuàng)。

集成式固態(tài)ESD保護(hù)是專有的ADI技術(shù),可實現(xiàn)非常高的ESD保護(hù) 同時對MEMS開關(guān)RF性能影響最小。圖3顯示了采用SMD QFN封裝的ESD保護(hù)元件。其中,芯片安放在MEMS芯片上,通過焊線連接至封裝的RF引腳。這些都是針對RF和ESD性能進(jìn)行了優(yōu)化。

圖3. ADGM1004驅(qū)動器IC(左)和MEMS開關(guān)芯片(右),帶RF端口ESD保護(hù)芯片安放在MEMS管芯之上并線焊至金屬引線框架。

為了實現(xiàn)ADGM1004產(chǎn)品,ADI將三種專有光刻技術(shù)與組裝和MEMS封蓋技術(shù)相結(jié)合,以實現(xiàn)這一性能突破。

RF和0 Hz/DC性能

MEMS開關(guān)的優(yōu)勢是它在一個非常小的表貼封裝中實現(xiàn)了0 Hz/dc精密性和寬帶RF性能。圖4顯示了ADGM1004單刀四擲 (SP4T) MEMS開關(guān)的實測插入損耗和關(guān)斷隔離性能。插入損耗在2.5 GHz時僅為0.45 dB,在帶寬高達(dá)13 GHz時為–3 dB。RF功率處理額定值為32 dBm(無壓縮),三階交調(diào)截點 (IP3) 線性度在頻率范圍內(nèi)恒定為67 dBm(典型值),頻率極低時無性能降低。

圖4. ADGM1004 MEMS開關(guān)RF性能線性標(biāo)度<10 MHz

ADGM1004 MEMS開關(guān)設(shè)計為0 Hz/dc精密應(yīng)用提供極高的性能。表1列出了這些重要規(guī)格。

表1. ADGM1004精度規(guī)格I

表1列出了HBM ESD額定值,RF端口的額定值為5 kV HBM,相比ADGM1304器件的100V HBM有大幅提升。這提高了人工處理ESD敏感型應(yīng)用的易用性。

表2. ADGM1004精度規(guī)格II

無論什么市場,小尺寸解決方案都是一項關(guān)鍵要求。圖5利用實物 照片比較了ADGM1004 SP4T MEMS開關(guān)的封裝設(shè)計與典型DPDT機(jī)電繼電器的尺寸,ADGM100體積縮小了高達(dá)95%。

圖5. ADGM1004 MEMS開關(guān)(四開關(guān))與典型機(jī)電式RF繼電器(四開關(guān))的比較。

最后,為了幫助系統(tǒng)設(shè)計人員,我們對ADGM1004開關(guān)的熱切換壽命(進(jìn)行RF功率傳輸時對通道進(jìn)行切換)進(jìn)行了特性化測試。圖6顯示了進(jìn)行2 GHz、10 dBm RF信號熱切換時的壽命概率。樣本測試的故障前平均循環(huán)次數(shù) (T50) 為34億次。更高的功率測試結(jié)果,請參見ADGM1004數(shù)據(jù)手冊。

圖6. 10 dBm RF信號熱切換時95%置信區(qū)間 (CI) 下的對數(shù)正態(tài)故障概率。

具有開創(chuàng)性的增強(qiáng)型ESD保護(hù)性能的ADGM1004 MEMS開關(guān)可以大幅提高易用性,同時在RF應(yīng)用和0 Hz/dc應(yīng)用中都能保持卓越的開關(guān)性能。ADI的MEMS開關(guān)技術(shù)具有從0 Hz/dc開始的世界頂級的帶寬性能,相比RF繼電器,MEMS開關(guān)的體積縮小多達(dá)95%,可靠性提升10倍,速度提升30倍,功耗降低10倍。ADGM1004 MEMS開關(guān)為ADI公司性能優(yōu)異的開關(guān)產(chǎn)品陣營又添異彩。


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原文標(biāo)題:ADI深度丨芯片剖開看,揭開超牛MEMS開關(guān)背后的技術(shù)秘密

文章出處:【微信號:analog_devices,微信公眾號:analog_devices】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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