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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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在空間飛行器的慣性測量系統,機器人的機械臂延展確定,車船體傾斜測量,巖體傾向判斷和工程鉆孔軌跡檢測等許多方面都需要測量物體的傾斜和方向等參數。
MEMS傳感器徹底改變了我們與日常技術互動的方式,使其更容易,更便于用戶使用。 MEMS傳感器提供諸如2軸和3軸線性加速度計以及單軸和多軸陀螺儀等功能S...
隨著可穿戴智能設備的發展,特別是醫療可穿戴智能設備,主要依靠MEMS傳感器,從而檢測到穿戴者的身體各項信息。那么什么是MEMS傳感器呢?
本文分析了微/納機電系統的發展特點,討論了MEMS和NEMS發展中的幾個問題和MEMS和NEMS的發展前景。
現在,傳感器和傳感器處理方面的技術發展可實現完全嵌入式自主檢測系統的部署,并且能夠可靠地對設備缺陷、不平衡、性能變化以及其他異常進行檢測和分析,如圖1所示。
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