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      標簽　>　duv

      duv

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      duv就是深紫外光，主要是指波長小于i-line365nm的紫外光，一般工業上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化學增幅型的光刻膠。

      文章：52個 瀏覽：3991次 帖子：0個

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      美國要求荷蘭ASML進一步限制DUV***出口到中國

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      當制程節點演進到5nm時，DUV和多重曝光技術的組合也難以滿足量產需求了，EUV光刻機就成為前道工序的必需品了，沒有它，很難制造出符合應用需求的5nm芯...

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      ASML***出口中國，拿到許可

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      ASML：年底前可以向中國出貨受限芯片制造設備

      據彭博社31日報道，美國對中國限制尖端技術出口的努力正在損害asml的利益。中國是asml的第三大市場。美國政府敦促荷蘭政府禁止asml在沒有許可證的情...

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