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      標(biāo)簽　>　duv

      duv

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      duv就是深紫外光，主要是指波長(zhǎng)小于i-line365nm的紫外光，一般工業(yè)上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化學(xué)增幅型的光刻膠。

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      duv技術(shù)

      國(guó)產(chǎn)***EUV與DUV的分類(lèi)

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