ADI 數(shù)據(jù)采集解決方案在先進光刻芯片制造領域大放異彩l

作者：Pete Bartolik 投稿人：DigiKey 北美編輯 在半導體芯片銷售額從 2022 年的 6000 億美元增至 2030 年的 1 萬億...

2025-05-25 標簽：芯片ADI數(shù)據(jù)采集 177 0

一文詳解電子束光刻技術

本文系統(tǒng)梳理了直寫式、多電子束與投影式EBL的關鍵技術路徑，涵蓋掃描策略、束流整形、鄰近效應校正與系統(tǒng)集成等方面，并探討其在精度、效率與成本間的技術矛盾...

2025-04-30 標簽：工藝光刻電子束 897 0

光阻的基礎知識

本文將系統(tǒng)介紹光阻的組成與作用、剝離的關鍵工藝及化學機理，并探討不同等離子體處理方法在光阻去除中的應用。 ? 一、光阻（Photoresist，PR）的...

2025-02-13 標簽：光刻半導體制造 1231 0

芯片制造:光刻工藝原理與流程

光刻是芯片制造過程中至關重要的一步，它定義了芯片上的各種微細圖案，并且要求極高的精度。以下是光刻過程的詳細介紹，包括原理和具體步驟。?? 光刻原理???...

2025-01-28 標簽：芯片制造光刻 1115 0

光刻掩膜技術介紹

?? 光刻掩膜簡介 ?? ? 光刻掩膜（Photomask）又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版等，通常簡稱“mask”，是半導體制造過程中用于圖案轉移的關鍵工...

2025-01-02 標簽：半導體光刻掩膜 1881 0

接觸孔工藝的制造流程

接觸孔工藝是指在 ILD 介質(zhì)層上形成很多細小的垂直通孔，它是器件與第一層金屬層的連接通道。通孔的填充材料是金屬鎢（W），接觸孔材料不能用Cu，因為 C...

2024-11-15 標簽：晶圓工藝光刻 971 0

柵氧化層工藝的制造流程

與亞微米工藝類似，柵氧化層工藝是通過熱氧化形成高質(zhì)量的柵氧化層，它的熱穩(wěn)定性和界面態(tài)都非常好。

2024-11-05 標簽：晶圓工藝光刻 1133 0

有源區(qū)工藝的制造過程

有源區(qū)工藝是指通過刻蝕去掉非有源區(qū)的區(qū)域的硅襯底，而保留器件的有源區(qū)。

2024-10-31 標簽：晶圓工藝光刻 843 0

頂層金屬工藝是指什么

頂層金屬工藝是指形成最后一層金屬互連線，頂層金屬互連線的目的是實現(xiàn)把第二層金屬連接起來。頂層金屬需要作為電源走線，連接很長的距離，需要比較低的電阻，需要...

2024-10-29 標簽：晶圓工藝光刻 735 0

金屬層2工藝是什么

金屬層2（M2）工藝與金屬層1工藝類似。金屬層2工藝是指形成第二層金屬互連線，金屬互連線的目的是實現(xiàn)把第一層金屬或者第三層金屬連接起來。

2024-10-24 標簽：晶圓工藝光刻 722 0

Line Edge Roughness (LER) 線邊緣粗糙度

來源：C Lighting 線邊緣粗糙度(LER) 線邊緣粗糙度（LER）指的是柵極圖案邊緣的隨機變化，即印刷圖案邊緣的粗糙度。當最小特征尺寸減小到幾十...

2024-08-23 標簽：MOSFET半導體光刻 3358 0

晶圓制造工藝流程及一些常用名詞解釋

共讀好書 晶圓制造工藝流程 1、 表面清洗 2、 初次氧化 3、 CVD(Chemical Vapor deposition) 法沉積一層 Si3N4 ...

2024-07-30 標簽：光刻蝕刻晶圓制造 2897 0

激光指向穩(wěn)定在光刻系統(tǒng)應用中的關鍵作用及其優(yōu)化方案

光刻是半導體制造工藝中的核心之一，極紫外光刻技術作為新一代光刻技術也處于快速發(fā)展階段。其基本原理是利用光致抗蝕劑（或稱光刻膠）感光后因光化學反應而形成耐...

2024-06-27 標簽：芯片半導體激光 748 0

電子束技術的原理與應用概覽

電子束技術在半導體制造行業(yè)一直是重要的應用技術。本文就電子束技術作一個簡單的圖文介紹。

2024-04-30 標簽：光刻電子束半導體制造 2618 0

玻璃通孔技術研究進展

聚焦放電主要包括兩個步驟：1) 將玻璃放在兩個電極之間，通過控制放電對玻璃局部區(qū)域進行放電熔融；2)通過焦耳熱使玻璃內(nèi)部產(chǎn)生高應力，引起內(nèi)部高壓和介電擊穿。

2024-04-26 標簽：等離子光刻顯微鏡 1697 0

一文解析DARM工藝流程

DRAM（動態(tài)隨機存取存儲器）的工藝流程包括多個關鍵步驟。

2024-04-05 標簽：電容晶圓存儲單元 8165 0

芯片制造工藝為什么用黃光?

光刻是集成電路（IC或芯片）生產(chǎn)中的重要工藝之一。簡單地說，就是利用光掩模和光刻膠在基板上復制電路圖案的過程。

2024-03-18 標簽：集成電路芯片制造光刻 3104 0

刻蝕機是干什么用的 刻蝕機和光刻機的區(qū)別

刻蝕機的刻蝕過程和傳統(tǒng)的雕刻類似，先用光刻技術將圖形形狀和尺寸制成掩膜，再將掩膜與待加工物料模組裝好，將樣品置于刻蝕室內(nèi)，通過化學腐蝕或物理磨蝕等方式將...

2024-03-11 標簽：芯片制造光刻光刻機 1.3萬 0

淺談不同階段光刻機工作方式

在曝光過程中，掩模版與涂覆有光刻膠的硅片直接接觸。接觸式光刻機的縮放比為1:1，分辨率可達到4-5微米。由于掩模和光刻膠膜層反復接觸和分離，隨著曝光次數(shù)...

2024-03-08 標簽：芯片制造光刻光刻機 1875 0