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標(biāo)簽 > 光刻
光刻是平面型晶體管和集成電路生產(chǎn)中的一個主要工藝。是對半導(dǎo)體晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)進(jìn)行開孔,以便進(jìn)行雜質(zhì)的定域擴(kuò)散的一種加工技術(shù)。
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CMP 主要負(fù)責(zé)對晶圓表面實現(xiàn)平坦化。晶圓制造前道加工環(huán)節(jié)主要包括7個相互獨立的工藝流程:光刻、刻蝕、薄膜生長、擴(kuò)散、離子注入、化學(xué)機(jī)械拋光、金屬化 C...
在集成電路的制造過程中,有一個重要的環(huán)節(jié)——光刻,正因為有了它,我們才能在微小的芯片上實現(xiàn)功能。現(xiàn)代刻劃技術(shù)可以追溯到190年以前,1822年法國人Ni...
刻蝕機(jī)是干什么用的 刻蝕機(jī)和光刻機(jī)的區(qū)別
刻蝕機(jī)的刻蝕過程和傳統(tǒng)的雕刻類似,先用光刻技術(shù)將圖形形狀和尺寸制成掩膜,再將掩膜與待加工物料模組裝好,將樣品置于刻蝕室內(nèi),通過化學(xué)腐蝕或物理磨蝕等方式將...
干貨!光刻技術(shù)的原理和EUV光刻技術(shù)前景
光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。在整個芯片制造工藝中,幾乎每個工藝的實施,都離不開光刻的技術(shù)。
光刻工藝的8個基本步驟 光刻機(jī)結(jié)構(gòu)及工作原理
摩爾定律 Intel創(chuàng)始人之一摩爾1964年提出,大約每隔12個月: 1)。芯片能力增加一倍、芯片價格降低- -倍; 2)。廣大用戶的福音、行業(yè)人...
光刻技術(shù):光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量(OCD)原理
集成電路芯片持續(xù)朝著密度不斷增加和器件尺寸不斷微縮的方向發(fā)展,其中最為關(guān)鍵的一個參數(shù)就是柵極線條寬度。任何經(jīng)過光刻后的光刻膠線條寬度或刻蝕后柵極線條...
芯片制作環(huán)節(jié)光刻的詳細(xì)流程詳解
在集成電路的制造過程中,有一個重要的環(huán)節(jié)——光刻,正因為有了它,我們才能在微小的芯片上實現(xiàn)功能?,F(xiàn)代刻劃技術(shù)
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國科大《集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設(shè)計優(yōu)化》課程分享之二:浸沒式光刻工藝缺陷種類、特征及自識別方法
標(biāo)簽:光刻半導(dǎo)體工藝 7560 1
? 光刻對準(zhǔn)技術(shù)由最初的明場和暗場對準(zhǔn)發(fā)展到后來的干涉全息或外差干涉全息對準(zhǔn)、混合匹配、由粗略到精細(xì)對準(zhǔn)技術(shù)等。對準(zhǔn)精度也由原來的微米級提高到納米級,極...
1995年,華裔科學(xué)家周郁(Stephen Chou)教授首次提出納米壓印概念,從此揭開了納米壓印制造技術(shù)的研究序幕。納米壓印技術(shù)是當(dāng)今最具前景的納米制...
在集成電路的制造過程中,有一個重要的環(huán)節(jié)光刻,正因為有了它,我們才能在微小的芯片上實現(xiàn)功能。 根據(jù)維基百科的定義,光刻是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一個重要步...
光刻技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀、趨勢及挑戰(zhàn)分析
近兩年來,芯片制造成為了半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的焦點。芯片制造離不開光刻機(jī),而光刻技術(shù)則是光刻機(jī)發(fā)展的重要推動力。在過去數(shù)十載的發(fā)展中,光刻技術(shù)也衍生了多個分支...
我們已經(jīng)從前兩篇的文章中了解了半導(dǎo)體制造的前幾大步驟,包括晶圓加工、氧化、光刻、刻蝕和薄膜沉積。 ? 在今天的推文中,我們將繼續(xù)介紹最后三個步驟:互連、...
2021-08-02 標(biāo)簽:光刻半導(dǎo)體制造 1.8萬 1
(綜合自瀟湘晨報 西安網(wǎng) 財聯(lián)社)日前,總投資13億元的上海博康項目正式簽約落戶高陵,標(biāo)志著該區(qū)引進(jìn)國家戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)、推動高質(zhì)量發(fā)展取得新突破。記者了解...
在芯片的生產(chǎn)過程中,光刻機(jī)是關(guān)鍵設(shè)備,而光刻則是必不可少的核心環(huán)節(jié)。光刻技術(shù)的精度水平?jīng)Q定了芯片的性能強(qiáng)弱,也代表了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的完善程度。我們國內(nèi)一直希...
蒸鍍機(jī)外加金屬鍍罩的雙重門檻,不僅限制了同業(yè)的生產(chǎn)良率,也為其他品牌的手機(jī)屏設(shè)置了一道分辨率的上限。使其擁有了對其他手機(jī)品牌的牽制,最好的案例便是曾經(jīng)如...
經(jīng)常聽說,高端光刻機(jī)不僅昂貴而且還都是國外的,那么什么是光刻機(jī)呢?上篇我們聊了從原材料到拋光晶片的制成過程,今天我們就來聊聊什么是光刻~
2020-01-19 標(biāo)簽:光刻 8858 0
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