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      電子發(fā)燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>振子框架式微機械陀螺的優(yōu)化設計及電學模擬

      振子框架式微機械陀螺的優(yōu)化設計及電學模擬

      2009-07-08 | rar | 234 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      根據(jù)驅動模態(tài)頻率和檢測模態(tài)的頻率相互匹配, 用有限元法優(yōu)化了振子框架式微機械陀螺的結構尺寸; 根據(jù)建立的陀螺振動的等效電路模型, 對檢測振動的性能進行了模擬分析, 該模型為傳感器與接口電路的整體模擬打下了基礎。
      關鍵詞: 微機械陀螺; 優(yōu)化設計; 等效電路模型; 模擬
      Abstract: F irst acco rding to thematch ing of drivingmode frequency and detect ion mode frequency, the st ruc2 ture dimensions of the comb2gimbal m icromach ined gyro scope are op t im ized using a finite element method (FEM ). Then an equivalent circuit model of gyro scope’s o scillat ing p ropert ies is derived, w h ich is available in detect ion o scillat ing p ropert ies analysis and also enables the senso r simulat ion w ith the interfacing elect ron2
      ics.
      Key words: m icromach ined gyro scope; op t imum design; equivalent circuit model; simulat ion
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