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分析了分布式微機電系統特點，對基于多主體控制的分布式微機電系統構成進行了研究，提出了采用多主體技術實現分布式MEMS控制的框架。對系統的模型、微機電主體的結構、行為策略進行了形式化表示，給出了控制算法，并在此基礎上開發了原型系統。This paper analyzes the characteristics of distributed Micro Electromechanical System (MEMS) and studies components of MEMS based on multi-agent technology. Then, the control architecture of distributed MEMS designed with multi-agent technology is presented. The system model, structure of micro electromechanical agent, and behavior decision are expressed in formal approach. An algorithm is developed for the controlling the behavior decision and production in distributed real-time MEMS. And a prototype system is realized based on the algorithm.
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