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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>模擬數字論文>集成電路的廢氣處理

      集成電路的廢氣處理

      2009-12-14 | rar | 344 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      集成電路工業的廢氣有含氟化物和硫酸霧的酸性廢氣、含氨的堿性廢氣、含異丙醇和光刻膠的有機廢氣，含SiO2 的含塵廢氣，以及含硅烷、磷烷的工藝尾氣等，這些工業廢氣中大部分成分是有毒有害的，必須進行有效的處理才能排入大氣中。本文主要討論上述工業廢氣的分類、處理方式、應用范圍及應用實例等。
      關鍵詞：集成電路工業廢氣處理
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