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具有空腔的相對濕度(RH)傳感器專門用于測量空氣中存在的水蒸汽。存儲環(huán)境中濕度過高會直接加劇腐爛程度，空氣中的濕度會直接影響系統(tǒng)可靠性（腐蝕）或產(chǎn)品壽命，因此，相對濕度是一項重要的測量指標(biāo)。
相對濕度傳感器面臨的難題之一是其暴露的感應(yīng)元件會隨著時間的推移而老化。持續(xù)暴露在潮濕空氣和環(huán)境中的揮發(fā)性有機化合物，例如在傳感器材料上沉積的苯或乙二醇，會導(dǎo)致傳感器的精度偏離其規(guī)格。這需要停用系統(tǒng)以更換或校準(zhǔn)傳感器，從而增加總擁有成本。在本文中，我將討論相對濕度傳感器的精度和長期漂移，以及這些參數(shù)如何影響終端設(shè)備的性能和壽命。
長期漂移和精度是濕度傳感器的一些重要規(guī)格。在當(dāng)今的濕度傳感器中，尤其是電容式傳感器，通常具有2%到3%的相對濕度精度和最大3%到4%的相對濕度精度。這種精度就是所謂的傳感器在投入現(xiàn)場實際使用之前的初始精度，并且不包括長期漂移。
電容式傳感器的…
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