如何使用線陣CCD設(shè)計(jì)白光干涉技術(shù)位移測(cè)量系統(tǒng)的論文說(shuō)明
資料介紹
白光干涉技術(shù)(White-light interferometry technology)是在20世紀(jì)70年代發(fā)展起來(lái)的一門(mén)新技術(shù),由于它是以白光的干涉寬度作為度量單位的,所以可以檢測(cè)極其微小的位移形變,被廣泛用于光纖產(chǎn)品、材料研究、生物醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域,具有高測(cè)量精度和高靈敏度。CCD(Charge-coupled Device)是電耦合器件,它可以把光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)進(jìn)行輸出,同時(shí)還具備集成度高,功耗小,噪聲低、測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn),在圖像傳感方面有著廣泛的應(yīng)用。目前,利用白光干涉技術(shù)進(jìn)行測(cè)量的系統(tǒng)只在國(guó)外少數(shù)幾個(gè)國(guó)家中實(shí)現(xiàn)了商品化,國(guó)內(nèi)還處于研究階段。
本文研究并設(shè)計(jì)了一種基于線陣 CCD白光干涉技術(shù)的測(cè)量系統(tǒng)。通過(guò)對(duì)白光干涉條紋信號(hào)進(jìn)行采集、存儲(chǔ)、傳輸和算法分析,從而實(shí)現(xiàn)了中央零級(jí)條紋的精確定位。白光經(jīng)過(guò)干涉之后會(huì)形成干涉信號(hào),符合高斯分布,用高速線陣 CCD對(duì)其進(jìn)行采集,轉(zhuǎn)換成電信號(hào),再通過(guò)面向 CCD的專(zhuān)有 AD對(duì)此信號(hào)進(jìn)行濾波降噪和A/D轉(zhuǎn)換,形成對(duì)應(yīng)的數(shù)字信號(hào)后把數(shù)據(jù)保存在 FPGA中的高速異步 FIFO中,以便于數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)與傳輸,最后通過(guò)高速以太網(wǎng)的方式把采集到的干涉信號(hào)數(shù)據(jù)上傳到上位機(jī)中。此硬件系統(tǒng)是在 Xilinx FPGA的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)的。
本文還對(duì) CCD像素定位進(jìn)行了研究,以提高整個(gè)系統(tǒng)的精度。CCD在采集數(shù)據(jù)的過(guò)程中會(huì)引入諸多噪聲,而導(dǎo)致中央零級(jí)條紋不能精確定位。本文介紹并比較了線陣 CCD常見(jiàn)的像素定位算法,并在此基礎(chǔ)上,提出了一種改進(jìn)的灰度質(zhì)心法,并對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)與分析,得到了更高精度的測(cè)量結(jié)果。
經(jīng)過(guò)驗(yàn)證,本系統(tǒng)能夠正確對(duì)白光干涉條紋中央零級(jí)條紋進(jìn)行定位,同時(shí)還有很高的精度與處理速度,具有很高的應(yīng)用價(jià)值。
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