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      電子發燒友網>電子資料下載>工控技術>研華單晶爐長晶監控解決方案

      研華單晶爐長晶監控解決方案

      2017-09-30 | rar | 0.31 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      ? ? ? ? 在單晶硅生產過程中,硅片的直徑大小和晶體生長過程的自動化程度,對生產效率和產品質量有很大的影響。硅單晶生長技術的發展要求設備智能化具備穩定性好、質量可靠、操作使用方便等。最大限度免除認為因素對生長過程的干擾，必須提高和優化設備的穩定性、精確性和智能程度。單晶爐控制柜控制整個單晶爐安全正常運轉和加熱功率的變化，控制真空系統運行。
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