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      平面光波導器件的分類與平面光波導技術的介紹及其發(fā)展趨勢分析

      2017-09-30 | rar | 0.3 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　平面光波導技術

      　　平面光波導技術是在集成電路技術的基礎上發(fā)展起來的，有其獨特的地方。集成電路的基本元件是電阻、電容、電感和晶體管（二極管、三極管），集成電路技術是在硅襯底上通過薄膜沉積、擴散、外延、光刻、刻蝕、退火等工藝制作這些基本的元件，并且用導線互聯(lián)。平面光波導的基本元件是激光器、光波導和探測器，所用襯底材料各異、如 InP、GaAs、SiO2、 LiNbO3 等，材料各異工藝也不盡相同。集成電路技術對所成薄膜的厚度、折射率和殘余應力要求不甚嚴格，但對于平面光波導技術而言，厚度、折射率和殘余應力則要求精細控制，否則不能實現(xiàn)光波信號的產(chǎn)生、控制、傳輸與探測。

      　　平面光波導器件的分類與平面光波導技術的介紹及其發(fā)展趨勢分析

      　　平面光波導器件

      　　平面光波導器件是采用平面光波導技術制造而成的器件，分為無源器件、有源器件以及有源/無源混合集成器件。
      平面光波導器件的分類與平面光波導技術的介紹及其發(fā)展趨勢分析

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