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電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>內置RF收發器的數字MEMS振動傳感器

內置RF收發器的數字MEMS振動傳感器

2017-06-01 | pdf | 0.88 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。微機電系統是集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統。MEMS是一項革命性的新技術,廣泛應用于高新技術產業,是一項關系到國家的科技發展、經濟繁榮和國防安全的關鍵技術。[1] MEMS側重于超精密機械加工,涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學、機械學的各分支。[2] MEMS是一個獨立的智能系統,可大批量生產,其系統尺寸在幾毫米乃至更小,其內部結構一般在微米甚至納米量級。常見的產品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產品。

內置RF收發器的數字MEMS振動傳感器

  在高度發展的現代工業中,現代測試技術向數字化、信息化方向發展已成必然發展趨勢,而測試系統的最前端是傳感器,它是整個測試系統的靈魂,被世界各國列為尖端技術,特別是近幾年快速發展的IC技術和計算機技術,為傳感器的發展提供了良好與可靠的科學技術基礎。使傳感器的發展日新月益,且數字化、多功能與智能化是現代傳感器發展的重要特征。

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