Femto 系列工業級光纖飛秒激光器具備穩定、可靠的性能，可保證 7 *24 小時穩定工作。 支持 mJ 級單脈沖能量、千瓦 GHz 高功率、高重頻的飛秒激光輸出；激光器可定制 Burst Mode 模式輸出，自定義脈沖串形狀及能量，滿足多應用場景；可提供獨立的 SHG 二倍頻模 塊或 THG 三倍頻模塊，支持多種波長切換輸出；適應于高分子材料加工與處理、難加工金屬 加工、陶瓷聚合物加工、半導體晶圓加工、新能源材料加工、合金材料加工、透明材料焊接。
產品特點
mJ 級單脈沖能量、千瓦 GHz 高功率 / 重頻
脈寬可 <250 fs，可調脈寬至 ps 級
支持脈沖串模式輸出
全光纖高穩定性，高光束質量
可靠的光、電一體化設計
支持 1035/517 /343nm 三波段切換輸出
應用領域
溫敏、硬脆材料加工
陶瓷聚合物加工
半導體晶圓、顯示面板加工
難加工金屬合金加工
復合薄膜加工
新能源材料加工
表面微結構加工
玻璃與金屬、玻璃與玻璃焊接
雙光子顯微成像科研
產品參數
| Femto-10 | Femto-50 | Femto-200 | Femto-400 | Femto-1000 | FemtoG-1000 |
中心波長 | 1035±4 nm* | 1035±4 nm* | 1035±4 nm* | 1035±4 nm* | 1035±4 nm* | 1035±4 nm* |
輸出功率 | > 10 W | > 40 W | > 40 W | > 60 W | > 100 W | > 1000 W |
最大單脈沖能量 | > 10 μJ | > 50 μJ | > 200 μJ | > 400 μJ | > 1 mJ | ~ |
最大脈沖串能量 | 20 μJ * | 200 μJ * | ~ | 1 mJ * | ~ | ~ |
重復頻率 | Single-Shot to 1 MHz | Single-Shot to 800 kHz | Single-Shot to 200 kHz | Single-Shot to 150 kHz | Single-Shot to 100 kHz | 1±0.1 GHz |
脈沖寬度 | <250 fs to 10 ps | <250 fs to 10 ps | <250 fs to 10 ps | <300 fs to 10 ps | <500 fs to 6 ps | <800 fs |
光束質量 | M2≤ 1.3 (Typical < 1.2) | M2≤ 1.3 (Typical < 1.2) | M2≤ 1.3 (Typical < 1.2) | M2≤ 1.3 (Typical < 1.2) | M2≤ 1.3 (Typical < 1.2) | M2≤ 1.3 (Typical < 1.2) |
光斑圓度 | ≥90% | ≥90% | ≥90% | ≥85% | ≥85% | ≥85% |
光斑直徑 | 2.5±1 mm,1/e2 | 2.5±1 mm,1/e2 | 2.5±1 mm,1/e2 | 3±1 mm,1/e2 | 3±1 mm,1/e2 | 3±1 mm,1/e2 |
說明：波長 *: 可選擇雙波段版本，支持 1035 nm/ 517 nm 雙波段切換輸出；脈沖串能量 *: 脈沖串形式和脈沖串能量屬定制參數。
其他定制選型：FemtoA-IR-10-10 Femto-GN-4-4 Femto-IR-20-20 Femto-IR-40-40 Femto-GN-8-8 Femto-GN-16-16 Femto-GN-20-16
Femto-IR-80-60 Femto-IR-100-60 Femto-GN-32-24 Femto-GN-40-24 Femto-GN-74-15
Femto-GN-100-15 Femto-UV-20-10
