--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
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--- 產(chǎn)品詳情 ---
中圖儀器VT60003D高精度激光共聚焦掃描顯微鏡以共聚焦顯微測(cè)量技術(shù)為原理,主要測(cè)量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。

VT60003D高精度激光共聚焦掃描顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
如在汽車檢測(cè)中的應(yīng)用,共聚焦顯微鏡結(jié)合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測(cè)器的孔洞,再將物鏡垂直移動(dòng),以類似斷層攝影方式,可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)精確量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù)。其測(cè)量方式是非接觸式,不會(huì)破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測(cè)量,也可以用顯微鏡測(cè)量的功能來觀測(cè)樣本,其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測(cè)量漸變較大的高度時(shí),跟其他方法相比,可以更精確量測(cè)物體高度,建立3D立體影像,優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。

技術(shù)指標(biāo)
型號(hào):VT6100
行程范圍:100*100*100mm
視場(chǎng)范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測(cè)量重復(fù)性(1σ):12nm
高度測(cè)量精度:± (0.2+L/100) μm
高度測(cè)量分辨率:0.5nm
寬度測(cè)量重復(fù)性(1σ):40nm
寬度測(cè)量精度:± 2%
寬度測(cè)量分辨率:1nm
外形尺寸:520×380×600mm
儀器重量:50kg
產(chǎn)品功能
1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能;
2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量;
3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能;
4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;

應(yīng)用領(lǐng)域
VT60003D高精度激光共聚焦掃描顯微鏡對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
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為生命護(hù)航|激光跟蹤儀檢測(cè)X射線計(jì)算機(jī)斷層掃描成像系統(tǒng)的應(yīng)用2025-05-16 15:39
行業(yè)背景概述X射線計(jì)算機(jī)斷層掃描成像系統(tǒng),簡(jiǎn)稱CT。近年來,全球CT市場(chǎng)展現(xiàn)出穩(wěn)健的擴(kuò)張態(tài)勢(shì)。在亞太地區(qū),伴隨各國對(duì)醫(yī)療基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)的持續(xù)投入,以及人口老齡化程度的加深,CT設(shè)備迎來了爆發(fā)式的市場(chǎng)需求。與此同時(shí),多層螺旋CT、能譜CT等一系列前沿技術(shù)相繼問世,不僅極大提升了CT設(shè)備的性能,也進(jìn)一步拓展了應(yīng)用場(chǎng)景,有力推動(dòng)了市場(chǎng)規(guī)模的持續(xù)增長。需求描述CT設(shè)備116瀏覽量 -
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