中圖儀器SuperViewW1精密光學輪廓測量儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。
優(yōu)點
一是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件；
二是測量速度快，不必像探頭逐點進行測量；
三是不必作探頭半徑補正，光點位置就是工件表面測量的位置；
四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果。
SuperViewW1精密光學輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，可廣泛應(yīng)用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
粗糙度測量應(yīng)用：
在3C領(lǐng)域，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；
在LED行業(yè)，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；
在光纖通信行業(yè)，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；
在集成電路行業(yè)，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行業(yè)，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度；
在軍事領(lǐng)域，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度。
SuperViewW1精密光學輪廓測量儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)，適用于對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
