中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1 3d光學輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
3d光學輪廓儀工作原理
光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀，但橫向測試范圍，縱向高度尺度也很關(guān)鍵。在超精密加工中，3D AOI（自動光學檢測）是對傳統(tǒng)精密加工上的升級，彌補了傳統(tǒng) AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改進設(shè)備性能以滿足各大電子廠對質(zhì)量和產(chǎn)品能得雙重要求。3d光學輪廓儀工作原理是基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的，能以非接觸的方式，無損檢測精密機械加工表面，檢測結(jié)果以3D數(shù)據(jù)地圖的方式顯示，能直觀地展示了表面紋理特征。
如表面粗糙度的測量。表面粗糙度跟形狀誤差、波紋度等參數(shù)一樣，是表面微觀幾何特征，它們共同構(gòu)成了物體的表面原始形貌特征。表面二維形貌特征的分析與評定通常是對粗糙度參數(shù)進行的評定，通常把小于lmm波距的形貌特征歸結(jié)為表面粗糙度，而波距在1 ~10mm之間的定義為表面波紋度，大于10mm的則屬于目測可知的宏觀幾何形狀特征。
SuperView W1 3d光學輪廓儀測量表面粗糙度步驟很簡單。
1、將樣品放置在載物臺鏡頭下方；
2、檢查電機連接和環(huán)境噪聲，確認儀器狀態(tài)；
3、使用操縱桿調(diào)節(jié)Z軸，找到樣品表面干涉條紋；
4、完成掃描設(shè)置和命名等操作，點擊開始測量；
5、進入數(shù)據(jù)處理模塊，點擊校平，平面樣品采用默認校平，點擊右下角應(yīng)用保存操作；
6、進入分析工具模塊，點擊參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù)，點擊右側(cè)參數(shù)標準可更換參數(shù)標準、增刪參數(shù)類型；
7、如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù)，則需提取剖面線；
8、進入數(shù)據(jù)處理界面，點擊提取剖面圖標，選擇斜線，沿垂直于紋理方向提取剖面線；
9、進入分析工具界面，點擊參數(shù)分析圖標，點擊右側(cè)參數(shù)標準，勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù)，即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。
在生產(chǎn)中，微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評價具有直接的影響，為了能更全面、更真實地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量，表面三維微觀形貌的測量就越來越重要。而在3D測量領(lǐng)域，3d光學輪廓儀是精度最高的測量儀器之一，測量精度可以達到納米級。
