--- 產品參數 ---
- 粗糙度RMS重復性 0.005nm
- 臺階高測量 準確度0.3%,重復性0.08% 1σ
--- 產品詳情 ---
SuperViewW系列深圳三維表面輪廓測量儀器采用的是非接觸式光學測量,在獲得實時數據的同時,不會對產品造成任何損傷,從而有效節約了生產成本,提高了生產效率,并且在線檢測,沒有滯后性,從而減少不合格品,對表面缺陷檢測亦如此。

如一張經由VCUT微刻刀加工過的塑料薄片放到顯微鏡下,看到的是一面布滿點狀顆粒,另一面則被條狀溝槽所填滿,構成了塑料片表面的微觀世界。

使用中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀對這張塑料片上下表面進行掃描,點顆粒和溝槽輪廓一覽無余。

點顆粒是凸點,而溝槽則是弧形波,進一步使用儀器的輪廓分析功能對凸點和弧形波進行測量,得到它們的尺寸數據。


單個凸點截面直徑約42μm、高3.8um、夾角160°,分布周期97μm;單個弧形波高約1.6μm、寬約35μm,周期35μm。
SuperViewW系列深圳三維表面輪廓測量儀器分辨率0.1μm,重復性0.1%,具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
SuperView W系列深圳三維表面輪廓測量儀器產品參數
產品型號:SuperView W系列
產品名稱:光學3D表面輪廓儀
影像系統:1024×1024
光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平調整:±5°手動
粗糙度RMS重復性:0.005nm
臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高
生產企業:深圳市中圖儀器股份有限公司
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