粘滑式壓電馬達的工作原理

　　粘滑式壓電馬達主要由軸承、滑塊（即移動部分）、接觸點、一端固定的壓電促動器組成。壓電陶瓷的的長度隨著施加電壓的變化而變長或變短，由于滑塊與接觸點的摩擦力滑塊會隨著壓電陶瓷的形變一起運動，如圖1中第二個圖所示。這一過程又稱為粘貼階段（stick-phase）。當壓電陶瓷到最大形變量時，施加快速降低的電壓使壓電陶瓷快速回縮到初始狀態(tài)。如圖1中第三個圖所示，由于慣性滑塊保持靜止，而壓電陶瓷回復到了初始狀態(tài)，這一階段也被稱為滑動階段（slip-phase），也是這一階段導致了滑塊的凈位移。重復以上兩個階段使平臺產(chǎn)生宏觀的位移。

　　粘滑式壓電馬達的特點

　　在粘貼階段滑塊的移動量即是壓電陶瓷的形變量，因此對于該階段，平臺擁有較高的分辨率。在滑動階段，壓電陶瓷會快速縮回，這將產(chǎn)生振動和噪聲，噪聲可能非常刺耳，當人長期在平臺周圍工作時設置會引發(fā)健康問題。此外由于壓電陶瓷需要往復快速縮回，導致接觸點的材料大量磨損，限制了平臺的使用壽命。粘滑式馬達使用DC掃描模式時具有較高的分辨率，但是在斷電的情況下并不能0漂移保持在納米量級的定位。另外對于粘滑式的壓電馬達速度被限制在約20mm/s。