江蘇泊蘇系統集成有限公司文章

• 如何提升國內半導體防震基座制造企業的技術水平？2024-12-31 16:07

  

  企業自身要提高研發資金在總預算中的占比，例如從目前的 10% 提升至 15% 甚至更高。同時，積極爭取政府的研發補貼、專項基金等，利用政府資源來減輕研發資金壓力。

  制造 半導體 基座 619瀏覽量

• 半導體設備防震基座為啥要定制？2024-12-30 15:32

  

  半導體設備的種類繁多，包括光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等，每種設備的尺寸、重量、重心位置以及振動敏感程度都有所不同。例如，光刻機通常對精度要求極高，其工作時的微小振動都可能影響光刻的精度，因此需要專門設計的防震基座來滿足其高精度的要求。而刻蝕機可能由于其內部結構和工作原理的差異，對防震基座的承載能力和阻尼特性有特殊的要求。

  半導體設備 基座 集成電路 652瀏覽量

• 安裝定制化防震基座時需要哪些工具和設備2024-12-30 15:28

  

  安裝定制化防震基座所需的工具和設備

  基座 測量工具 設備 578瀏覽量

• 第三代半導體對防震基座需求前景?2024-12-27 16:15

  

  隨著科技的發展，第三代半導體產業正處于快速擴張階段。在全球范圍內，各國都在加大對第三代半導體的投入，建設了眾多新的晶圓廠和生產線。如中國，多地都有相關大型項目規劃與建設，像蘇州的國家第三代半導體技術創新中心就推動了當地及周邊的產業發展。這些新建項目會引入大量的半導體制造設備，每一臺設備都需要配備相應的防震基座，從而直接帶動了防震基座的新增需求。

  基座 碳化硅 第三代半導體 578瀏覽量

• 第三代半導體防震基座的技術難點有哪些？2024-12-27 16:11

  

  高性能材料研發：需要具備更高阻尼性能、更低自然頻率、更好的耐腐蝕性和耐高溫性的特殊材料，如先進的復合材料、特種合金等。目前部分高性能材料依賴進口，限制了國內防震基座性能的提升。

  半導體設備 基座 第三代半導體 582瀏覽量

• 半導體制造fab廠房建筑防震振動測試介紹2024-12-26 16:52

  

  半導體制造FAB廠房建筑防震振動測試‌

  半導體 半導體制造 測試 655瀏覽量

• 防震基座的定制生產流程2024-12-26 16:48

  

  與客戶進行詳細溝通，了解半導體設備的基本信息，包括設備類型（如光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等）、設備尺寸（長、寬、高）、設備重量（包括滿載和空載狀態）、設備重心位置等。這些參數對于設計防震基座的承載能力和穩定性至關重要。

  減震器 半導體 基座 生產流程 508瀏覽量

• 防震基座安裝精度的行業標準是什么？2024-12-26 16:45

  

  尺寸精度：基座的長、寬、高尺寸公差一般要控制在 ±1-±3mm 范圍內，具體取決于設備的規格要求。例如，對于高精度光刻機的防震基座，尺寸公差可能要求在 ±1mm 以內。安裝孔的位置精度更為關鍵，位置度公差通常在 ±0.5-±1mm 之間.

  基座 安裝精度 行業標準 集成電路 781瀏覽量

• 未來五年中國集成電路與半導體設備防震基座需求預測2024-12-25 16:11

  

  未來五年中國集成電路與半導體產業將持續擴張，新建多個晶圓廠和生產線。例如，北京、上海、廣東、江蘇等地都有大型集成電路項目規劃與建設，這些項目將引入大量光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等半導體制造設備，而每臺設備都需要配備相應的防震基座，從而直接帶動防震基座的新增需求.

  半導體 基座 市場預測 集成電路 596瀏覽量

• 半導體設備防震基座安裝完成后，如何進行日常維護?2024-12-25 16:06

  

  半導體設備防震基座的日常維護對于確保其性能穩定、延長使用壽命以及保障半導體設備的正常運行至關重要。以下是一些常見的日常維護要點：

  半導體 半導體設備 基座 681瀏覽量