江蘇泊蘇系統集成有限公司文章

• 無塵車間半導體制造設備的振動標準2025-01-02 15:29

  

  半導體制造設備對振動極為敏感，不同的設備及工藝對振動標準要求也有所不同。一般來說，無塵車間半導體制造設備的振動標準主要從振動頻率、振幅等方面進行考量： 1，光刻設備 （1）振動頻率：通常要求在 1-100Hz 范圍內，振動加速度均方根值需低于 10-50μm/s²。對于極紫外光刻（EUV）等先進光刻技術，要求可能更嚴格，在某些關鍵頻段甚至要低于 10μ

  半導體制造 半導體設備 振動 776瀏覽量

• 如何降低半導體制造無塵車間設備振動問題的影響？2025-01-02 15:23

  

  要降低無塵車間設備振動問題的影響，需要從設備選型與安裝、振動監測與控制、車間環境管理等方面綜合采取措施，以下是具體方法：

  半導體制造 半導體設備 振動 720瀏覽量

• 如何有效解決無塵車間半導體制造設備周邊環境的振動源2024-12-31 16:11

  

  要有效解決無塵車間半導體制造設備周邊環境的振動源，需要從振動源的識別與評估、主動控制、被動隔振、日常監測與維護等方面入手，以下是具體措施：

  制造設備 半導體制造 421瀏覽量

• 如何提升國內半導體防震基座制造企業的技術水平？2024-12-31 16:07

  

  企業自身要提高研發資金在總預算中的占比，例如從目前的 10% 提升至 15% 甚至更高。同時，積極爭取政府的研發補貼、專項基金等，利用政府資源來減輕研發資金壓力。

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• 半導體設備防震基座為啥要定制？2024-12-30 15:32

  

  半導體設備的種類繁多，包括光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等，每種設備的尺寸、重量、重心位置以及振動敏感程度都有所不同。例如，光刻機通常對精度要求極高，其工作時的微小振動都可能影響光刻的精度，因此需要專門設計的防震基座來滿足其高精度的要求。而刻蝕機可能由于其內部結構和工作原理的差異，對防震基座的承載能力和阻尼特性有特殊的要求。

  半導體設備 基座 集成電路 517瀏覽量

• 安裝定制化防震基座時需要哪些工具和設備2024-12-30 15:28

  

  安裝定制化防震基座所需的工具和設備

  基座 測量工具 設備 486瀏覽量

• 第三代半導體對防震基座需求前景?2024-12-27 16:15

  

  隨著科技的發展，第三代半導體產業正處于快速擴張階段。在全球范圍內，各國都在加大對第三代半導體的投入，建設了眾多新的晶圓廠和生產線。如中國，多地都有相關大型項目規劃與建設，像蘇州的國家第三代半導體技術創新中心就推動了當地及周邊的產業發展。這些新建項目會引入大量的半導體制造設備，每一臺設備都需要配備相應的防震基座，從而直接帶動了防震基座的新增需求。

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• 第三代半導體防震基座的技術難點有哪些？2024-12-27 16:11

  

  高性能材料研發：需要具備更高阻尼性能、更低自然頻率、更好的耐腐蝕性和耐高溫性的特殊材料，如先進的復合材料、特種合金等。目前部分高性能材料依賴進口，限制了國內防震基座性能的提升。

  半導體設備 基座 第三代半導體 447瀏覽量

• 半導體制造fab廠房建筑防震振動測試介紹2024-12-26 16:52

  

  半導體制造FAB廠房建筑防震振動測試‌

  半導體 半導體制造 測試 545瀏覽量

• 防震基座的定制生產流程2024-12-26 16:48

  

  與客戶進行詳細溝通，了解半導體設備的基本信息，包括設備類型（如光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等）、設備尺寸（長、寬、高）、設備重量（包括滿載和空載狀態）、設備重心位置等。這些參數對于設計防震基座的承載能力和穩定性至關重要。

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