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浙江省首個集成電路共享平臺正式啟用 擁有包括5.6億元28納米光刻機在內的60多臺集成電路關鍵設備

半導體動態 ? 來源:工程師吳畏 ? 2019-06-19 16:42 ? 次閱讀

繼共享充電寶、共享單車、共享汽車后,價值數億元的集成電路設備也迎來了共享模式。杭州市投資促進局官網消息顯示,6月17日浙江省首個集成電路共享平臺——杭州臨安青山湖微納技術研發開放平臺正式啟用。

據介紹,青山湖微納技術研發開放平臺一期工程由中電海康集團出資12億元,目前已全部到位;二期工程將由政府和中電海康集團共同出資13億元打造。目前該平臺擁有包括5.6億元28納米***在內的60多臺集成電路關鍵設備、2300平方米潔凈室核心技術骨干專家170余人,其中12英寸生產線最高可支持28納米集成電路工藝。

在啟用儀式上,中電海康集團作為開放平臺運營方與浙江大學、杭州電子科技大學、江蘇魯汶儀器有限公司等7家單位簽訂合作協議。今后,青山湖微納技術研發開放平臺的60多臺設備,可作為共享的平臺資源,供廣大企業、高校使用。

該開放平臺具有公益性,且其優惠政策具有明顯的地域性。據平臺運營方相關負責人表示,不久的將來會出臺平臺運營管理細則,但目前“優惠政策”已明確,即購買該平臺集成電路相關服務,青山湖科技城企業可享受35%優惠,浙江省內企業可享受30%的優惠,其他企業可享受15%的優惠。?

據透露,該平臺的設備即使不算機器折舊費,每年的運營費用也近2億元,至少要5年后才可能實現收支平衡。政府參與其中,主要是希望借助研發開放平臺,打造微納技術核心基礎設施,加快集成電路設計、制造、封測等產業集聚。

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