5納米，相當于頭發絲直徑（約為0.1毫米）的二萬分之一，將成為集成電路芯片上的最小線寬。臺積電計劃明年進行5納米制程試產，預計2020年量產。最近，中微半導體設備（上海）有限公司收到一個好消息：其自主研制的5納米等離子體刻蝕機經臺積電驗證，性能優良，將用于全球首條5納米制程生產線。刻蝕機是芯片制造的關鍵裝備之一，中微突破了“卡脖子”技術，讓“上海制造”躋身刻蝕機國際第一梯隊。

走進位于金橋出口加工區的中微公司，就要換上公司提供的皮鞋，這家精密制造企業要求一塵不染。在潔凈室門外，解放日報·上觀新聞記者看到身穿白色工作服、戴著白帽子和口罩的研發人員，正在測試一臺大型設備，它就是全球屈指可數的5納米刻蝕機。只見一片片300毫米大硅片被機械手抓起，放入真空反應腔內，開始了它們的刻蝕之旅。“多種氣體會進入真空反應腔，經過化學反應變成等離子氣體，隨即產生帶電粒子和自由基，與硅片發生化學物理反應。”中微首席專家、副總裁倪圖強博士說，這些化學物理反應在硅片上開槽打洞，形成令人嘆為觀止的微觀結構——一塊指甲蓋大小的芯片，可集成60多億個晶體管。

方寸間近乎極限的操作，對刻蝕機的控制精度提出很高要求。據倪圖強介紹，刻蝕尺寸的大小與芯片溫度有一一對應關系，中微自主研發的部件使刻蝕過程的溫控精度保持在0.75攝氏度內，達到國際領先水平。氣體噴淋盤是刻蝕機的核心部件之一，中微和國內企業聯合開發出一套創新工藝，用這套工藝制造的金屬陶瓷，其晶粒十分精細、致密。與進口噴淋盤相比，國產陶瓷鍍膜的噴淋盤使用壽命延長一倍，造價卻不到五分之一。

創新成功的秘訣是什么？2004年，尹志堯博士與杜志游博士、倪圖強博士、麥仕義博士等40多位半導體設備專家創辦了中微公司。當時，世界上最先進的芯片生產線是90納米制程，但中微創立之初就開始研發40納米刻蝕機，因為他們深知，集成電路產業技術迭代很快，必須超前兩代開展自主研發。90納米的下一代是65納米，再下一代就是40納米。擁有國際化團隊，也是成功的一大原因。經過海外引進和本土培養，中微600多名員工來自十多個國家和地區。而且公司的研發團隊十分完整，200多人的專業背景覆蓋30多門學科，為刻蝕機研發這一系統工程奠定了基礎。

憑借自主創新，中微已申請1200多件國內外專利。“因為有大量專利保護，我們已經歷4次與西方國家企業的知識產權訴訟，未嘗敗績。”公司副總裁曹煉生告訴記者。今年1月，國家知識產權局專利復審委基于中微提交的證據，認定納斯達克上市公司維易科的一件發明專利無效。此后，中微經歷的第三次訴訟以和解告終——他們和維易科分別在福建和紐約撤訴，握手言和。

“刻蝕機曾是一些發達國家的出口管制產品，但近年來，這種高端裝備在出口管制名單上消失了。”倪圖強表示，這說明如果我們突破了“卡脖子”技術，出口限制就會不復存在。如今，中微與泛林、應用材料、東京電子、日立4家美日企業一起，組成了國際第一梯隊，為7納米芯片生產線供應刻蝕機。明年，臺積電將率先進入5納米制程，已通過驗證的國產5納米刻蝕機，預計會獲得比7納米生產線更大的市場份額。