集成電路制造技術集現代超精細加工技術之大成，是信息產業的核心技術。集成電路設備，作為集成電路制造的重要基礎之一，是全上下游產業鏈的重要環節，更是眾多企業競爭的戰略制高點。人工智能、大數據、物聯網等新勢能的崛起，提升了對半導體設備精密性的要求，更將設備業推向欣欣向榮的發展階段。在這波國際浪潮中，中國設備產業從“自力更生”的創業階段，走過了“引進與轉型”的探索發展階段，來到了“戰略調整與政策扶持”的穩扎穩打階段。但是，我國設備業在迅猛發展的同時，本土設備業的不足以及弊端也日益突出。

新勢能推動全球設備業發展

人類正處于一種新運算時代的開始。這種新運算時代中，從視覺方式到感知方式都將發生一些變化。例如人機交互模式，從最初的鍵盤輸入，逐漸變成觸摸識別，再到如今火熱的語音識別，人工智能、大數據、物聯網等市場驅動因素正在逐漸改變生活和產業。與此同時，整個市場對于更高運算性能以及更高存儲容量的需求直線上升，可以預測，未來半導體工藝將變得日益復雜以及將更依賴于設備升級。這是半導體設備廠投入新一輪強勁增長態勢的主要原因。

“半導體產業的快速增長得益于物聯網、智能汽車、人工智能、5G商用進程加快應用的需求，以及驅動全球存儲器需求大爆發，從而提升設備業需求。”中國電科首席專家柳濱說。

2017年，國際晶圓制造進入10nm/7nm節點，10nm/7nm的制造線相繼投資建設，據了解，10nm/7nm工藝設備投資占2017年半導體全年投資的55%。高端顯示制造設備需求持續增長，包括10.5代大尺寸FPD制造設備和OLED制造設備，更是成為市場熱需，市場釋放出強勁的設備需求，設備業將保持數年的增長態勢。

中國市場獲得國際關注

“從2010年到如今，全球的半導體設備業都在逐漸增長，沒有任何一個工業的發展速度能類似于半導體業，這是因為半導體產業是一個全球化產業。這是一個偉大的時代，也充滿著巨大的機會，很多國家都正在快速發展，中國也是如此。中國正逐漸成為今后半導體生產的一大生力軍。”盛美半導體設備董事長兼首席執行官王暉在盛美半導體設備（上海）亞太制造中心開業慶典上對記者說。

根據SEMI預測，2018年，半導體設備的銷售額達到601億美元，比2017年增長7.5％。在這一波的增長中，中國將會是半導體設備支出活躍的市場，越來越多的跨過公司和國內芯片制造商都將選擇在中國建設新的晶圓廠。

泛林集團—亞太區供應鏈運營主管Nic Rossi曾透漏，泛林集團與中國企業早就存在著良好的的合作關系。除此之外，Nic Rossi表示，泛林集團與中國高等院校同樣達成了合作。“中國在全球半導體市場中占據重要地位，中國已經成為、甚至將繼續成為半導體設備的主要市場及供應商。目前，中國的供應基地已經成為泛林集團工廠及備件制造的關鍵來源。我們希望未來在中國不斷擴大產業投資。”Nic Rossi在2018中國半導體材料和零部件創新發展大會上說。

單類設備供給質量突破是重點

雖然全球知名大廠都將中國列為重點發展國家，中國也擁有著龐大的市場空間，但是對于中國設備企業來說，要走的路還有很長。目前，中國半導體設備產業面臨的最大困境是單類設備的供給質量的突破，盡快解決市場占有率低的問題。柳濱向記者介紹，設備供給質量的突破，對于我國設備業來說并不簡單，因為它涉及到設備性能、工藝適用性、可靠性以及應用服務等方面。“設備供給質量是單類設備市場占有率的基礎，也是設備制造商品牌和聲譽的名片，是設備制造商持續發展的市場保證。”柳濱說。

柳濱認為，中國設備企業完成單類設備供給質量的突破，需要在兩方面下“苦工”。“一方面，設備制造商要按照符合半導體制造設備的開發規律，重視應用需求、進行應用工藝研發，建立工藝驗證試驗或引導生產線。另一方面，在設備制造商內部形成真正意義上的專業設備公司體制運行機制，注重各類專業技術人才隊伍的建設，按照設備產業鏈價值環節從事經營活動。”柳濱說。

在突破單類設備供給質量的前提下，設備制造和產線應用界還應該形成產業聯盟，將下游制造線建線列為發展方向。“由此加強整線設備集成與服務能力的建設，提升半導體設備在半導體制造產業中的國產化率。”柳濱說。

在單類設備質量得以提升的同時，設備產業鏈的擴展也是一大挑戰，這對我國設備企業贏得客戶十分重要。Nic Rossi表示，想要擴展產業鏈，首先需要提升客戶的信任值，尤其是在同質化的供應鏈中做到優質的差異化服務。“其次，廠商應該做到能夠進行彈性生產，快速為客戶形成解決方案，以此擴展的供應鏈，會更貼近客戶。最后，優質的企業文化、高效的操作、完善的商業流程及系統、高效的領導力及靈活性都將幫助企業贏得客戶。”Nic Rossi說。