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我國半導體技術的有一步發展世界上最大口徑單體碳化硅反射鏡面世

kus1_iawbs2016 ? 來源:未知 ? 作者:易水寒 ? 2018-08-26 11:00 ? 次閱讀

歷時15年探索攻關、9年立項研制,中國科學家打破國外技術封鎖和產品壟斷,研制成功世界上迄今公開報道的最大口徑單體碳化硅(SiC)反射鏡——直徑4.03米口徑高精度碳化硅非球面反射鏡,并且核心制造設備以及制造工藝都具有自主知識產權,成果可廣泛應用于天文望遠鏡、航天器光學載荷研制等領域,標志著中國大口徑碳化硅非球面光學反射鏡制造領域的技術水平已躋身國際先進行列。

中國研制成功世界最大口徑單體碳化硅反射鏡項目負責人、中科院長春光機所副所長張學軍研究員向媒體介紹項目科研攻關情況。孫自法 | 攝

由中國科學院長春光學精密機械與物理研究所(中科院長春光機所)承擔的國家重大科研裝備研制項目“4米量級高精度碳化硅非球面反射鏡集成制造系統”21日在吉林長春通過項目驗收,該所完成的4.03米口徑高精度碳化硅非球面反射鏡就是項目核心成果之一。驗收專家認為,4米口徑碳化硅反射鏡工程產品即將應用于國家地基大型光電系統,也為空間大口徑光學系統的研制解決了核心技術難題。

中科院長春光機所研制成功的直徑4.03米口徑高精度碳化硅非球面反射鏡。孫自法 攝

項目負責人、中科院長春光機所副所長張學軍研究員介紹說,大口徑高精度非球面光學反射鏡是高分辨率空間對地觀測、深空探測和天文觀測系統的核心元件。碳化硅陶瓷材料則是國際光學界公認的高穩定性光學反射鏡材料,但歐美國家在大口徑碳化硅光學反射鏡制造技術方面長期處于壟斷地位,中國必須自主發展大口徑碳化硅光學制造技術。

早在2003年,中科院長春光機所就開始對大口徑碳化硅光學反射鏡制造技術進行探索攻關,2009年底,面向國家對大型光學儀器的戰略需求,中央財政投入1.96億元人民幣的國家重大科研裝備研制項目“4米量級高精度碳化硅非球面反射鏡集成制造系統”,正式在中科院長春光機所立項啟動。

項目啟動后,張學軍領導的研發團隊通過多年持續技術攻關,突破一系列關鍵技術瓶頸,先后完成碳化硅鏡坯制備、非球面加工檢測、碳化硅表面改性鍍膜的制造設備研制與制造工藝研究,形成了具有自主知識產權的“4米量級高精度碳化硅非球面集成制造平臺”,并依托集成制造平臺完成4米量級高精度碳化硅非球面產品研制。

其中,在碳化硅材料制備技術方面,項目研發團隊建立大口徑碳化硅鏡坯制造平臺,并先后研制成功可用于可見光成像的2米、2.4米、3米單體碳化硅鏡坯和4米口徑整體碳化硅鏡坯,而此前國際上公認1.5米是單體碳化硅反射鏡的極限口徑,從而實現中國大口徑碳化硅光學材料制備的自主可控。

中科院長春光機所研制成功的直徑4.03米口徑高精度碳化硅非球面反射鏡。孫自法 攝

在大口徑碳化硅非球面加工檢測技術方面,項目研發團隊突破大口徑碳化硅非球面高精度高效加工技術瓶頸,并解決了高精度零位檢測精度標定、調整誤差分離、投影畸變校正等關鍵問題,完成4米量級碳化硅非球面高精度加工,加工精度優于16納米,全面實現4米量級碳化硅高精度加工與檢測技術自主可控。

在大口徑碳化硅改性鍍膜技術方面,項目研發團隊在國際上首次研制成功碳化硅反射鏡改性與反射膜鍍制一體化設備,提升膜層質量與可靠性,實現4米口徑碳化硅反射鏡表面高反射率薄膜鍍制,可見至長波紅外全譜段反射率優于95%。

專家指出,中國通過研制成功“4米量級高精度碳化硅非球面反射鏡集成制造系統”,形成具備自主知識產權的4米量級大口徑反射鏡研制能力,并陸續應用于中國各類大型光電設備,將推動中國在大口徑光學反射鏡制造技術方面實現跨越式發展,大幅提升中國高性能大型光學儀器研制水平。

張學軍表示,目前,“4米量級高精度碳化硅非球面反射鏡集成制造系統”項目成果已獲得一系列重要應用:2米量級碳化硅非球面反射鏡已應用于國家大型光電系統項目;4米量級碳化硅非球面反射鏡即將應用于國家重大工程項目。同時,項目成果將持續應用于中國空間站多功能光學設施、國家重點研發計劃“靜止軌道高分辨率輕型成像相機系統技術”等一系列國家重大基礎研究和工程項目研制。

他透露,“4米量級高精度碳化硅非球面反射鏡集成制造系統”項目研究成果還成功應用于多項國家重大型號項目及背景預研項目中,并成功牽引出總經費近50億元的多項國家重大型號項目。

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原文標題:重大突破:我國研制出世界上最大口徑單體碳化硅反射鏡!

文章出處:【微信號:iawbs2016,微信公眾號:寬禁帶半導體技術創新聯盟】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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