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光電液位開關 - LLC200D3SH助力半導體設備液體泄漏監測

科技技術 ? 2018-07-05 14:26 ? 次閱讀

半導體生產設備和材料,是半導體產品的最上游。全世界每年銷售的生產設備和材料,加起來總共800多億美元左右,隨著 AI 芯片、5G 芯片、汽車電子物聯網等下游的興起,全球半導體行業重回景氣周期。芯片應用領域擴大,半導體行業進入高景氣周期確定。

伴隨著半導體廠房的大規模發展以及半導體生產設備的日趨復雜,半導體廠對廠房的潔凈度、設備運行的故障率、生產所需的介質(生產所需的水、氨水、酸、堿及有機氣體等)要求極高,生產介質所產生的泄漏將會直接影響整個生產的流程。例如:半導體設備內部及管道容易出現的漏酸、漏堿、漏水情況,這些液體的泄漏很有可能導致不可估量的損失。此類廠房需針對可能產生泄漏的區域作重點監測:上夾層主要監測運行設備(空調、空調水管等)可能產生的漏水;工作區間對使用酸堿液體生產的設備監測進出介質的管道、廢介質回收導流槽等部位監測;下夾層是半導體生產的重點監測點,由于生產所需的介質一般都有該夾層進出至不同的生產線,夾層內管道縱橫交錯,人員進出不方便,如果產生泄漏,人工檢查很難找到發生泄漏的具體位置,根據管道的布置在其下方迂回布置相應的感應線纜。

因此對液體和氣體壓力的監控就越來越重要.在工業生產領域離不開酸堿類化學用品,它作為產品的必要原料以及一系列反應過程中的催化劑。絕大多數酸堿類液體具有揮發性、腐蝕性、有毒性,若在生產或運輸過程中發生泄漏,且未能及時發現和控制,將會帶來不可預料的后果。不但遭受經濟損失,環境污染,造成人員傷亡。根據各半導體廠房的生產不同,廠房內部的管道液體也有出入,例如:酸/堿等化學液體另外大多數廠房還采用工作人員現場巡檢方式,尋找安全隱患,浪費人力物力。

針對上述情況,迫切的需要一種能方便安裝、反應迅速、準確度高、無人值守的高穩定性檢測設備。目前傳感器被廣泛地應用于這一領域.盡管在許多場合,傳感器獨一無二的設計與精度的要求具有決定性的作用,但傳感器的成本與有效性(性能價格比)也是十分重要的.針對半導體廠房設備液體泄漏問題,工釆網為半導體廠房設備液體泄漏監測提供工業級光電液位傳感器/光電液位開關 - LLC210D324-003相對應的解決方案。

LLC工業級液位傳感器是單點檢測,電平信號輸出。 這款傳感器適用于大功率輸出場合,可以直接驅動白熾燈指示燈, 聲音報警器,繼電器或其它情形。 一個紅外LED光源和光電管探測器精確地安裝在傳感端的基座上, 能確保在空氣中達到很好的光耦合。當感應端浸入液體,紅外光會 從錐形表面透射出去,而光電管接受到的光強會變小,導致輸出電平發生變化。多樣化的輸出電路可滿足不同的應用場合。如遇發生漏液,將會精準地檢測到并進行報警,通過監控系統發出報警通知值班人員。漏液隱患分布范圍較廣,還可進行定位漏液報警器,監控漏液的實際位置,即可快速找到漏液點位,并及時處理,減少廠房損失。


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