分選機主要應用于芯片設計檢驗階段和成品終測(FT)環(huán)節(jié),是終測環(huán)節(jié)重要檢測設備之一。
轉(zhuǎn)塔式分選機尤其適用于小型片式半導體分立元件的打標、測試、分選和包裝,是一種主轉(zhuǎn)盤在中心,各個測試工位按照順序均布在主電機周圍的一種高速分選機,通常包含工位有16個和24個等多種型號。
1.產(chǎn)品通過上料結(jié)構(gòu)被送到主電機轉(zhuǎn)盤上;
2.主電機轉(zhuǎn)盤吸住芯片并通過轉(zhuǎn)動將產(chǎn)品送到下一個工位;
3.上料工位工作;
4.主電機轉(zhuǎn)盤吸取新的一個產(chǎn)品。
特點
主電機每轉(zhuǎn)動一格,都會將產(chǎn)品送到各個工位,有產(chǎn)品的工位將對產(chǎn)品進行測試等處理,如此周而復始 同一時間會有多個工位對多個產(chǎn)品進行處理 占地面積小、精度高、速度快。
技術(shù)難點
轉(zhuǎn)塔式分選機的優(yōu)點是設備的每小時產(chǎn)量較高,當前市場上速度最快的設備每小時可以完成5-6萬及更多枚芯片的測試。目前轉(zhuǎn)塔式分選機國產(chǎn)自給率最低,因其 UPH(每小時分選芯片數(shù)量)是最高的一類分選機,在高速運行下,既要保證重復定位精度,又要保證較低的 Jam Rate(故障停機比率),這對分選機設備開發(fā)提出了更高的要求。
尤其隨著半導體行業(yè)的快速發(fā)展,主轉(zhuǎn)盤工位(高速轉(zhuǎn)塔)的運行速度、轉(zhuǎn)動精度、振動幅度和跳動幅度等因素決定了高速分選機的生產(chǎn)效率和穩(wěn)定性,是整臺設備的高效運行的核心,這也對高速轉(zhuǎn)塔工位應用的轉(zhuǎn)盤直驅(qū)馬達的精度、速度、穩(wěn)定性要求越來越高。 轉(zhuǎn)塔式分選機的優(yōu)點是設備的每小時產(chǎn)量較高,當前市場上速度最快的設備每小時可以完成5-6萬及更多枚芯片的測試。 目前轉(zhuǎn)塔式分選機國產(chǎn)自給率最低,因其 UPH(每小時分選芯片數(shù)量)是最高的一類分選機,在高速運行下,既要保證重復定位精度,又要保證較低的 Jam Rate(故障停機比率), 這對分選機設備開發(fā)提出了更高的要求。 尤其隨著半導體行業(yè)的快速發(fā)展,主轉(zhuǎn)盤工位(高速轉(zhuǎn)塔)的運行速度、轉(zhuǎn)動精度、振動幅度和跳動幅度等因素決定了高速分選機的生產(chǎn)效率和穩(wěn)定性,是整臺設備的高效運行的核心,這也對高速轉(zhuǎn)塔工位應用的轉(zhuǎn)盤直驅(qū)馬達的精度、速度、穩(wěn)定性要求越來越高。
主轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動是高速分選機最重要的運動之一,而主轉(zhuǎn)盤驅(qū)動狀況取決于選取的主電機性能,雅科貝思ADR-H系列能足夠滿足轉(zhuǎn)塔應用的此類運動曲線,非常適用于高精度的移動、速度響應要求高和對端跳要求較高的場合。 從運動控制的角度看,該過程在技術(shù)上極具挑戰(zhàn)性:它需要轉(zhuǎn)塔電機以非常高的速度運行并承受振動。搭載雅科貝思為高速分選機的直驅(qū)馬達定制的伺服驅(qū)動器,使速度穩(wěn)定性進一步提高。
采用了低慣量設計,轉(zhuǎn)動慣量低至0.0025kg.m2, 可以極快的響應速度完成相應指令動作。
審核編輯 黃宇
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