液晶驅動線路作為液晶顯示設備的核心組件，承擔著為液晶面板提供驅動信號、控制像素顯示狀態的關鍵任務。其性能直接影響顯示畫面的質量與穩定性。然而，在生產制造及長期使用過程中，液晶驅動線路易出現各類故障，因此，研究高效的激光修復方法對保障液晶顯示設備的質量與生產效率具有重要意義。

液晶驅動線路的工作原理與結構

液晶驅動線路主要由柵極驅動電路、源極驅動電路和控制電路組成。柵極驅動電路負責逐行掃描液晶面板的柵極，使像素點依次選通；源極驅動電路則根據圖像數據，向選通的像素點提供相應的驅動電壓，控制液晶分子的偏轉角度，從而實現不同灰度和色彩的顯示；控制電路協調柵極和源極驅動電路的工作，確保信號的準確傳輸與時序同步。這些電路通過精密布線集成于液晶面板或周邊電路板上，其復雜的結構與精細的工藝要求，使得線路在面臨制造誤差、外力作用或環境因素影響時易出現故障 。

液晶驅動線路常見故障類型

斷路故障

斷路故障是液晶驅動線路的常見問題，多由制造過程中的光刻工藝偏差、金屬導線沉積不均勻，或是使用過程中的機械彎折、熱應力等因素導致。斷路會阻斷驅動信號的傳輸路徑，使對應像素無法正常工作，在液晶面板上表現為固定的亮線、暗線或局部顯示異常區域。

短路故障

短路故障通常源于絕緣層破損、異物污染，或是制造過程中線路間的材料堆積。不同線路間的短路會改變信號的傳輸特性，造成信號串擾，引發液晶面板出現花屏、圖像錯亂、局部閃爍等顯示問題。嚴重時，短路還會導致電流過大，損壞電路元件。

信號傳輸異常

除線路物理損壞外，驅動線路的信號傳輸異常也較為常見。這可能是由于接口連接不良、電路元件性能衰退、電磁干擾等因素引起，導致驅動信號的波形畸變、電平偏移或時序錯亂，進而影響液晶面板的顯示效果，出現畫面模糊、色彩失真等現象。

液晶驅動線路激光修復方法

斷路激光修復

針對斷路故障，激光修復技術利用高能量激光束的熱效應實現線路修復。通過高精度顯微鏡與圖像識別系統精準定位斷路位置，將激光束聚焦于斷路處，瞬間熔化斷路點的金屬材料。冷卻凝固后，金屬重新連接形成導電通路，恢復驅動信號的傳輸。修復過程中，需精確控制激光的功率、脈沖寬度和掃描速度，避免對周邊線路造成損傷。

短路激光修復

對于短路故障，激光修復機在確定短路點后，利用激光的高能量密度，將短路區域的多余導電物質蒸發或氣化，消除短路點，恢復線路間的絕緣性能。通過調整激光的波長、光斑大小和能量分布，可實現對微小短路區域的精確修復，有效解決因短路引發的信號傳輸異常問題。

信號傳輸異常修復

當出現信號傳輸異常時，若判斷為線路局部電阻或電容異常導致，可通過激光微調技術進行修復。利用激光的高能量對線路局部進行處理，改變線路的電阻、電容值，優化信號傳輸特性；若因電磁干擾引起，可利用激光在合適位置加工屏蔽結構，減少干擾對信號傳輸的影響 。

高通量晶圓測厚系統

高通量晶圓測厚系統以光學相干層析成像原理，可解決晶圓/晶片厚度TTV（Total Thickness Variation，總厚度偏差）、BOW（彎曲度）、WARP（翹曲度），TIR（Total Indicated Reading 總指示讀數，STIR（Site Total Indicated Reading 局部總指示讀數），LTV（Local Thickness Variation 局部厚度偏差）等這類技術指標。

高通量晶圓測厚系統，全新采用的第三代可調諧掃頻激光技術，相比傳統上下雙探頭對射掃描方式；可一次性測量所有平面度及厚度參數。

1，靈活適用更復雜的材料，從輕摻到重摻 P 型硅 (P++)，碳化硅，藍寶石，玻璃，鈮酸鋰等晶圓材料。

重摻型硅（強吸收晶圓的前后表面探測）

粗糙的晶圓表面，（點掃描的第三代掃頻激光，相比靠光譜探測方案，不易受到光譜中相鄰單位的串擾噪聲影響，因而對測量粗糙表面晶圓）

低反射的碳化硅(SiC)和鈮酸鋰(LiNbO3)；（通過對偏振效應的補償，加強對低反射晶圓表面測量的信噪比）

絕緣體上硅（SOI)和MEMS，可同時測量多 層 結 構，厚 度 可 從μm級到數百μm 級不等。

可用于測量各類薄膜厚度，厚度最薄可低至 4 μm ，精度可達1nm。

可調諧掃頻激光的“溫漂”處理能力，體現在極端工作環境中抗干擾能力強，充分提高重復性測量能力。

4，采用第三代高速掃頻可調諧激光器，一改過去傳統SLD寬頻低相干光源的干涉模式，解決了由于相干長度短，而重度依賴“主動式減震平臺”的情況。卓越的抗干擾，實現小型化設計，同時也可兼容匹配EFEM系統實現產線自動化集成測量。

5，靈活的運動控制方式，可兼容2英寸到12英寸方片和圓片測量。

審核編輯 黃宇