文章來源：學(xué)習(xí)那些事

原文作者：小陳婆婆

本文介紹了可靠性測試結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中的版圖的幾何設(shè)計(jì)規(guī)則

深入理解設(shè)計(jì)規(guī)則，設(shè)計(jì)者可在可靠性測試結(jié)構(gòu)優(yōu)化中兼顧性能、成本與質(zhì)量，推動半導(dǎo)體技術(shù)的持續(xù)創(chuàng)新。

本文分述如下：

可靠性測試結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)概述

幾何設(shè)計(jì)規(guī)則詳解與應(yīng)用實(shí)例

多項(xiàng)目晶圓（MPW）流片方式

可靠性測試結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)概述

一、設(shè)計(jì)規(guī)則的核心參數(shù)與工藝適配

1.關(guān)鍵參數(shù)定義

設(shè)計(jì)規(guī)則通過定義最小線寬、間距、覆蓋、露頭、凹口和面積等參數(shù)，確保芯片制造的可行性。例如：

最小線寬：在2μm工藝中，線寬不得小于2μm，以防止導(dǎo)線斷裂。

間距規(guī)則：不同層導(dǎo)體間距需大于工藝允許的最小值（如0.5μm），避免短路。

歸一化工藝適配：通過λ（歸一化單位）實(shí)現(xiàn)跨工藝移植，例如定義柵極寬度為2λ，其他尺寸為整數(shù)倍，便于從2μm工藝遷移至1μm工藝。

2.性能與成品率的平衡

設(shè)計(jì)規(guī)則是成品率與性能的折中

保守規(guī)則：提高成品率，但可能限制性能（如增大線寬降低信號速度）。

激進(jìn)規(guī)則：允許更小線寬或間距以提升性能，但成品率風(fēng)險(xiǎn)增加。

二、設(shè)計(jì)規(guī)則的實(shí)際應(yīng)用與工具支持

1.自動化驗(yàn)證流程

通過DRC（設(shè)計(jì)規(guī)則檢查）工具實(shí)現(xiàn)規(guī)則合規(guī)性驗(yàn)證：

掃描與報(bào)告：工具自動檢測版圖中的違規(guī)項(xiàng)（如線寬不足、間距過小），生成修正報(bào)告。

迭代修正：設(shè)計(jì)師根據(jù)報(bào)告修改版圖，重復(fù)驗(yàn)證直至所有違規(guī)項(xiàng)消除。

2.跨領(lǐng)域設(shè)計(jì)規(guī)則類比

設(shè)計(jì)規(guī)則不僅限于芯片，其他領(lǐng)域也有類似規(guī)范：

建筑示例：輕鋼龍骨間距≤400mm（保證結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性），石膏板吊頂主龍骨間距900mm（符合力學(xué)要求）。

室內(nèi)設(shè)計(jì)：地板鋪裝需30mm厚水泥砂漿找平層（防止空鼓），地暖管間距需內(nèi)嵌300mm寬無紡布（防開裂）。

三、設(shè)計(jì)規(guī)則的工藝演進(jìn)與未來趨勢

1.先進(jìn)工藝的挑戰(zhàn)

隨著工藝節(jié)點(diǎn)縮小（如FinFET結(jié)構(gòu)），設(shè)計(jì)規(guī)則需應(yīng)對三維復(fù)雜性：

三維驗(yàn)證：DRC工具需評估鰭片高度、柵極包裹完整性等新參數(shù)。

材料特性：高介電常數(shù)材料引入后，需調(diào)整間距規(guī)則以避免寄生電容。

2.AI與數(shù)字化工具的影響

AI輔助優(yōu)化：通過機(jī)器學(xué)習(xí)預(yù)測最佳線寬/間距組合，平衡性能與成品率。

實(shí)時規(guī)則更新：工藝改進(jìn)后，AI工具可自動調(diào)整設(shè)計(jì)規(guī)則參數(shù)（如從2μm到1μm工藝的線寬縮放）。

四、設(shè)計(jì)規(guī)則與可靠性測試結(jié)構(gòu)的關(guān)聯(lián)

1.測試結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)約束

互連線：寬度需滿足最小線寬要求，間距需避免電遷移效應(yīng)。

晶體管：溝道寬度（W）和長度（L）需符合設(shè)計(jì)規(guī)則比例（如W/L≥2以抑制短溝道效應(yīng)）。

電容與電阻：金屬層厚度和面積需符合工藝規(guī)范，確保匹配精度。

2.成品率量化影響

規(guī)則違反的后果：線寬不足可能導(dǎo)致導(dǎo)線斷裂（成品率下降5-10%），間距過小引發(fā)短路（成品率損失15%以上）。

經(jīng)濟(jì)成本：修正一次設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)的平均成本約為5,000?20,000（取決于工藝節(jié)點(diǎn)）。

五、結(jié)論：設(shè)計(jì)規(guī)則的創(chuàng)新與邊界探索

設(shè)計(jì)規(guī)則是工藝能力與設(shè)計(jì)自由度的邊界定義者。未來趨勢包括：

動態(tài)規(guī)則調(diào)整：通過傳感器實(shí)時反饋調(diào)整設(shè)計(jì)規(guī)則（如根據(jù)晶圓平整度微調(diào)間距）。

異構(gòu)集成規(guī)則：3D堆疊芯片需定義層間對準(zhǔn)容差（如<10nm）和TSV（硅通孔）密度規(guī)則。

可持續(xù)設(shè)計(jì)：結(jié)合環(huán)保材料（如低介電常數(shù)生物材料）調(diào)整設(shè)計(jì)規(guī)則，降低工藝能耗。

幾何設(shè)計(jì)規(guī)則詳解與應(yīng)用實(shí)例

一、幾何圖形距離定義

1.最小寬度

定義：封閉幾何圖形內(nèi)邊間的最小距離，由光刻工藝極限決定。

示例：在0.18μm CMOS工藝中，多晶硅層最小寬度為0.18μm，防止導(dǎo)線斷裂。

2.最小長度

定義：同一幾何圖形較長方向上的邊到邊距離。

示例：金屬層矩形圖形的長度不得小于0.5μm，確保電流均勻分布。

3.最小間距

定義：相鄰幾何圖形外邊界的最小距離，避免短路。

示例：兩層金屬線間距需≥0.25μm（0.18μm工藝），防止電容耦合干擾。

4.最小延伸

定義：B層圖形在A層圖形上的單邊交疊，其余方向無限制。

示例：接觸孔需延伸過有源區(qū)0.1μm，確保可靠連接。

5.最小包含

定義：A層圖形完全被B層圖形包裹，四邊均需滿足最小內(nèi)邊距。

示例：有源區(qū)需完全被柵極覆蓋，內(nèi)邊距≥0.08μm。

6.最小交疊

定義：兩幾何圖形內(nèi)邊界的最小交疊長度，防止工藝偏差導(dǎo)致開路。

示例：多晶硅柵與有源區(qū)交疊≥0.12μm（0.18μm工藝）。

二、設(shè)計(jì)規(guī)則實(shí)例分析

1.0.18μm CMOS工藝規(guī)則

線條最小寬度：

N型注入掩膜最小距離：

電學(xué)設(shè)計(jì)規(guī)則：

2.設(shè)計(jì)規(guī)則檢查（DRC）應(yīng)用

錯誤示例：金屬線寬度不足0.18μm時，DRC工具標(biāo)記為紅色違規(guī)區(qū)域。

修正方法：調(diào)整線寬至0.18μm以上，或采用更高精度光刻工藝。

3.成品率與性能平衡

保守設(shè)計(jì)：增大線寬至0.25μm，成品率提升5%，但信號延遲增加10%。

激進(jìn)設(shè)計(jì)：采用0.16μm線寬，成品率下降3%，但速度提升15%。

三、版圖設(shè)計(jì)工具詳解與流程優(yōu)化

1.版圖設(shè)計(jì)工具核心功能對比

2.工具集成與典型設(shè)計(jì)流程

前端設(shè)計(jì)

邏輯綜合：Synopsys Design Compiler / Cadence Genus

仿真驗(yàn)證：Cadence Spectre / Synopsys VCS

后端設(shè)計(jì)

布局布線：數(shù)字設(shè)計(jì)，Synopsys IC Compiler II → Astro（傳統(tǒng)流程）；模擬/混合信號：Cadence Virtuoso → Innovus（數(shù)字部分）

驗(yàn)證工具鏈：DRC/LVS，Mentor Calibre / Cadence Assura；時序分析，Synopsys PrimeTime / Cadence Tempus

協(xié)同設(shè)計(jì)示例

場景：28nm工藝數(shù)字SoC設(shè)計(jì)（含模擬IP）

流程：使用Virtuoso完成模擬IP版圖設(shè)計(jì)；通過IC Compiler II進(jìn)行數(shù)字部分布局布線；采用Encounter進(jìn)行全芯片時序優(yōu)化；通過Calibre進(jìn)行全芯片DRC/LVS驗(yàn)證。

3.工具選擇策略與成本優(yōu)化

學(xué)術(shù)研究/教育：推薦工具，Tanner L-Edit + Open-Source PDK；優(yōu)勢，低成本、易上手，支持基礎(chǔ)工藝節(jié)點(diǎn)（如180nm）。

初創(chuàng)公司/小型項(xiàng)目：推薦工具鏈，Synopsys Custom Compiler + IC Compiler II（云端訂閱）；優(yōu)勢，按需付費(fèi)，減少初期投資，支持先進(jìn)節(jié)點(diǎn)。

大規(guī)模SoC設(shè)計(jì)：推薦工具鏈，Cadence Genus + Innovus + Voltus；優(yōu)勢，全流程集成，支持多電壓域和復(fù)雜功耗管理。

硅光集成設(shè)計(jì)：推薦工具，Tanner L-Edit（光子器件） + Synopsys Sentaurus（光電仿真）；優(yōu)勢，覆蓋從器件到系統(tǒng)的全設(shè)計(jì)流程。

多項(xiàng)目晶圓（MPW）流片方式

一、MPW的核心價值與產(chǎn)業(yè)影響

1.成本革命

數(shù)據(jù)對比：非MPW流片單次成本約50,000（12英寸晶圓），MPW模式下單個項(xiàng)目成本可低至5,000（按10個項(xiàng)目分?jǐn)偅杀鞠陆?0%。

工藝節(jié)點(diǎn)敏感性：先進(jìn)工藝（如7nm）中，單一項(xiàng)目流片成本超過$300萬，MPW模式使中小設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)也能承擔(dān)試驗(yàn)。

2.設(shè)計(jì)效率提升

周期縮短：傳統(tǒng)流片需等待整片晶圓訂單，MPW服務(wù)提供定期流片批次（如每月1次），設(shè)計(jì)驗(yàn)證周期縮短50%以上。

快速迭代：支持敏捷開發(fā)模式，設(shè)計(jì)者可在數(shù)周內(nèi)完成設(shè)計(jì)-流片-測試閉環(huán)。

3.生態(tài)培育

人才孵化：高校通過MPW開展實(shí)踐教學(xué)，如復(fù)旦大學(xué)每年培養(yǎng)數(shù)百名IC設(shè)計(jì)學(xué)生。

企業(yè)成長：初創(chuàng)企業(yè)利用MPW驗(yàn)證產(chǎn)品原型，降低融資門檻，企業(yè)存活率提升3倍。

二、MPW技術(shù)流程詳解（以0.18μm CMOS為例）

1.設(shè)計(jì)階段

輸入格式：設(shè)計(jì)單位提交GDSII或CIF文件，包含：

標(biāo)準(zhǔn)單元庫：邏輯門、觸發(fā)器（如NAND2X1、DFFRX1）。

IP核：ADC、PLL等硬核（需預(yù)先驗(yàn)證）。

設(shè)計(jì)規(guī)則檢查（DRC）：確保層間距、線寬等符合工藝要求。

2.MPW整合

虛擬芯片生成：MPW中心將多個設(shè)計(jì)拼接成矩形布局，晶圓利用率提升至85%以上。

掩模優(yōu)化：采用層次化掩模技術(shù)，減少掩模數(shù)量（如4層金屬工藝需4張掩模）。

3.流片與測試

工藝參數(shù)（0.18μm CMOS示例）

電源電壓：1.8V/3.3V

閾值電壓：0.5V（NMOS）/ -0.5V（PMOS）

特征頻率：>200MHz

測試流程

晶圓切割：激光劃片，精度±5μm。

在片測試：使用探針卡測量I/O特性。

封裝測試：QFP/BGA封裝后，進(jìn)行功能驗(yàn)證。

三、MPW服務(wù)的未來趨勢

1.先進(jìn)工藝擴(kuò)展

FinFET支持：MPW服務(wù)將覆蓋7nm/5nm節(jié)點(diǎn)，采用多圖案光刻技術(shù)。

3D集成：支持TSV（硅通孔）設(shè)計(jì)，提供堆疊芯片MPW服務(wù)。

2.自動化工具升級

智能布局算法：基于機(jī)器學(xué)習(xí)優(yōu)化晶圓利用率，減少空白區(qū)域20%。

云端協(xié)同設(shè)計(jì)：支持多團(tuán)隊(duì)實(shí)時協(xié)作，版本控制自動化。

3.綠色MPW計(jì)劃

環(huán)保工藝：采用低能耗工藝，減少碳足跡。

廢品回收：未通過測試的芯片進(jìn)行金屬層回收。

通過MPW服務(wù)，設(shè)計(jì)者可在成本、周期、性能之間找到最優(yōu)平衡，推動半導(dǎo)體技術(shù)的持續(xù)創(chuàng)新。隨著工藝節(jié)點(diǎn)的演進(jìn)和服務(wù)模式的升級，MPW將成為IC設(shè)計(jì)生態(tài)中不可或缺的“加速器”。