實驗名稱：壓電薄膜變形鏡加工及閉環實驗

測試設備：高壓放大器、波前傳感器、壓電薄膜變形鏡等。

實驗過程：

圖1：（a）加工變形鏡的示意圖（b）變形鏡實物圖

根據優化設計加工了尺寸為100*100mm的壓電薄膜變形鏡，如圖1所示，襯底層厚度為5mm，壓電層厚度為0.4mm，電極分布為8*8，單個電極尺寸9*9mm。

由于基底與陶瓷片粘結、電極分割等工藝過程會引入頻率較高、梯度較大的面形變化，需要將粘結和電極分割過程提前到冷加工之前。此外，為了保證面形的穩定性，在冷加工前需要加入退應力的工藝環節，加工出來的PFDM樣件如圖1（b）所示。

圖2：（a）100*100mm單元PFDM樣件實物照片（b）100V驅動電壓下測量得到64個驅動單元的響應函數

搭建實如圖2（a）所示的實驗平臺，依次對64個驅動單元施加100V電壓，獲得個64驅動單元的響應函數，如圖（b）所示，響應函數的一致性較好。配套相應的高壓放大器、波前傳感器及閉環控制軟件開展了聯機波前閉環校正實驗。閉環校正前的波前畸變P_V值為2.64λ、RMS為0.56λ，閉環校正后的波前畸變P_V值為0.36λ，RMS為0.1λ，閉環效果較好，如圖3（a）和（b）所示。

圖3：（a）閉環校正前波前畸變P_V值為2.64λ、RMS為0.56λ。（b）閉環校正后波前畸變P_V值為0.36λ，RMS為0.1λ

實驗結果：

對壓電薄膜變形鏡樣件進行了實驗研究，閉環效果較好，對響函做本征模式分析，認為變形鏡在材料選擇、加工工藝及裝夾方式等方面還存在一定的改進余地。

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審核編輯 黃宇