在微觀世界的探索中，精準(zhǔn)定位是成功的關(guān)鍵。壓電物鏡定位器在生命科學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體等領(lǐng)域提供了高精度、高穩(wěn)定性的物鏡定位解決方案，已成為眾多精密操作的得力助手。它采用先進的壓電陶瓷驅(qū)動技術(shù)，通過精確控制施加在壓電陶瓷上的電壓，使其產(chǎn)生極其微小但精確可控的伸縮變化。這些微小的伸縮經(jīng)過巧妙的機械結(jié)構(gòu)放大和傳遞，從而實現(xiàn)物鏡的高精度位移調(diào)整。這種基于逆壓電效應(yīng)的工作方式，使得壓電物鏡定位器能夠在微觀尺度上實現(xiàn)精準(zhǔn)定位，為滿足各種高精度應(yīng)用需求提供了堅實的技術(shù)基礎(chǔ)。

P75.Z200S/K壓電物鏡定位器

P75.Z200S/K壓電物鏡定位器行程可達250μm，可帶動0.2kg以內(nèi)的物鏡做Z向運動。內(nèi)置高性能壓電陶瓷，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機構(gòu)設(shè)計，無摩擦，直線性好，可實現(xiàn)納米級分辨率、線性度及重復(fù)度，且同軸度高。物鏡補償量較小，具有毫秒級響應(yīng)速度和超高聚焦穩(wěn)定性。外觀采用緊湊型設(shè)計，體積小巧，易于集成到各種型號顯微鏡系統(tǒng)中，使用分離式螺紋適配器設(shè)計，可適配多種尺寸物鏡頭，為客戶提供靈活適配解決方案。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點

位移范圍可達250μm

承載達0.2kg

空載諧頻可達389Hz

分離式螺紋適配器設(shè)計

同軸度高

產(chǎn)品應(yīng)用

1.生物醫(yī)學(xué)研究

壓電物鏡定位器可應(yīng)用在熒光顯微鏡、共聚焦顯微鏡、超高分辨率顯微鏡等設(shè)備中，用于精確定位細胞、組織樣本，幫助科研人員深入研究生物分子的結(jié)構(gòu)和功能等。

2.半導(dǎo)體制造

壓電物鏡定位器可用于晶圓切割、光刻、激光直寫等生產(chǎn)制造工序，提高芯片的性能和生產(chǎn)良率。

3.材料科學(xué)領(lǐng)域

可搭配原子力顯微鏡進行材料表征、納米加工等應(yīng)用，在微觀尺度研究材料的結(jié)構(gòu)與性能。

4.光學(xué)領(lǐng)域

壓電物鏡定位器可應(yīng)用于白光干涉。壓電物鏡定位器能夠?qū)崟r、精確地調(diào)整物鏡位置，精確控制參考光路和測量光路的光程差。

技術(shù)參數(shù)

配套控制器

E53系列壓電控制器適用于驅(qū)動P75.Z200S/K壓電物鏡定位器。E53系列是針對小體積應(yīng)用要求而設(shè)計的單通道控制器，采用24VDC/1.5A供電，模擬與數(shù)字控制，開閉環(huán)可選，體積小巧，外形尺寸不超過148×27.5×80mm^3，重量在240g~370g之間。機身帶有散熱區(qū)域，可迅速導(dǎo)出產(chǎn)生的熱量，上位機軟件支持二次開發(fā)，體積小巧，易于集成。根據(jù)功能不同可分為E53.A(模擬控制)、E53.B（模擬、伺服控制）、E53.C（模擬與數(shù)字控制）、E53.D（模擬與數(shù)字控制、伺服控制）四個版本，產(chǎn)品外觀如下圖所示。

審核編輯 黃宇