水分子H2O，占地表面積的70%，是人類能夠生存在地球上的最重要因素之一。我們?nèi)粘Ｋ褂玫乃赡軄碓从诤Ｋ⒑铀⒑⒂晁⒌叵滤龋?jīng)過凈化后得以使用。隨著科技工業(yè)的發(fā)展，水質(zhì)在科技工業(yè)上的應(yīng)用要求也愈發(fā)嚴(yán)苛，甚至遠(yuǎn)超我們?nèi)粘ｏ嬘玫娘嬘盟鞍b水的標(biāo)準(zhǔn)，有的高達(dá)數(shù)十倍到百倍以上。

科技工業(yè)對水質(zhì)的要求因其應(yīng)用領(lǐng)域而異。不同科技領(lǐng)域根據(jù)生產(chǎn)過程中水質(zhì)對產(chǎn)品的影響，制定了不同的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，允許的雜質(zhì)種類和濃度也各不相同。

半導(dǎo)體制程與超純水

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，對水質(zhì)的要求尤為嚴(yán)格。為了滿足這種嚴(yán)苛的水質(zhì)要求，半導(dǎo)體制造業(yè)所使用的水被稱為電子級水或超純水。這種水中幾乎不允許存在任何雜質(zhì)，包括但不限于顆粒、金屬、離子、有機(jī)物和細(xì)菌等。為了達(dá)到如此嚴(yán)格的水質(zhì)要求，在制造超純水的工藝上必須十分精細(xì)，以去除各種雜質(zhì)。

如何制備超純水？

超純水的制造工藝通常包括以下幾種：

預(yù)處理設(shè)備

軟水器

反滲透主機(jī)

185nm UV燈

活性炭塔

RO 儲(chǔ)水箱

離子交換混床設(shè)備或EDI設(shè)備

純化儲(chǔ)水箱箱

254nm UV 燈

微孔過濾器 (超濾膜)

超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

在半導(dǎo)體行業(yè)中，常用的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)包括：

GB/T 11446-2013 電子級水標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 33087-2016 儀器分析用高純水規(guī)格及試驗(yàn)方法

GB/T 6682-2008/ ISO 3696分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法

ASTM D1193-06(2018) 試劑水標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

ASTM D5127-07 電子學(xué)和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水標(biāo)準(zhǔn)指南

SEMI F63:2021 Guide for Ultrapure Water Used in Semiconductor Processing

SGS服務(wù)內(nèi)容

為了滿足客戶對水質(zhì)分析的需求，SGS可為您提供一站式水質(zhì)分析服務(wù)：

客戶現(xiàn)場在線分析

在線總有機(jī)碳(TOC)測試、在線微粒子(Particle)測試、在線電導(dǎo)率測試、在線溶氧測試、在線細(xì)菌采樣等

客戶現(xiàn)場采樣服務(wù)

專業(yè)工程師到現(xiàn)場以專業(yè)手法進(jìn)行樣品采集

提供采樣瓶服務(wù)

提供高質(zhì)量高潔凈采樣瓶，并附贈(zèng)采樣方法讓客戶自采

實(shí)驗(yàn)室分析

金屬含量、二氧化硅、陰陽離子、總有機(jī)碳(TOC)、微粒子(Particle)、菌落總數(shù)、電導(dǎo)率、PH、碳酸根CO?2-、溶氧、可溶解硅等。

SGS半導(dǎo)體超痕量分析實(shí)驗(yàn)室環(huán)境達(dá)到了ISO class 3和ISO class 4無塵室分析環(huán)境的標(biāo)準(zhǔn)，配備了高端的分析設(shè)備如Agilent 8900 ICP/MS和Thermo Fisher ICS 6000 IC等，以確保分析結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。