多晶硅還原爐內(nèi)，硅芯起著至關(guān)重要的作用。

在多晶硅的生長過程中，硅芯的表面會逐漸被新沉積的硅層所覆蓋，形成多晶硅晶體，它主要作為沉積硅材料的基礎(chǔ)。硅芯的表面是化學反應(yīng)發(fā)生的場所，硅芯的表面特性（如清潔度、粗糙度）會影響沉積速率和硅材料的質(zhì)量。

基底作用 硅芯作為沉積過程的基底，是硅材料沉積的起點。在化學氣相沉積過程中，硅芯表面提供了硅原子沉積的場所。 導熱作用 硅芯通常由高純度的硅制成，具有良好的導熱性能。在還原爐中，硅芯通過電阻加熱，將電能轉(zhuǎn)化為熱能，為化學反應(yīng)提供必要的高溫環(huán)境。 結(jié)構(gòu)支撐 硅芯的結(jié)構(gòu)為沉積過程提供了必要的支撐，確保沉積的硅材料能夠均勻地生長在硅芯表面。 熱穩(wěn)定性 硅芯需要具有足夠的熱穩(wěn)定性，以承受在生產(chǎn)過程中的高溫和溫度變化，防止因熱應(yīng)力而導致的損壞。 電導性 硅芯的電導性能影響加熱效率和硅棒的加熱均勻性，進而影響沉積速率和硅材料的質(zhì)量。 可以選用其他材料作為基底嗎？ 理論上，可以使用其他材料作為基底來沉積多晶硅，但硅材料的晶體生長特性需要與基底材料相匹配，以確保能夠生長出高質(zhì)量的多晶硅。而且基底材料需要與沉積過程中使用的化學物質(zhì)（如三氯硅烷SiHCl3和氫氣H2）具有很好的化學相容性，以避免化學反應(yīng)導致基底材料的損壞或產(chǎn)生不希望的副產(chǎn)品。