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對于模擬、MEMS和射頻芯片需求的暴增,制造商將新建300mm晶圓廠

電子工程師 ? 來源:網絡整理 ? 作者:工程師黃明星 ? 2018-06-12 07:18 ? 次閱讀

模擬MEMS射頻芯片的需求不斷增長,將會繼續導致200mm晶圓廠產能和設備嚴重短缺,并且沒有任何緩和的跡象。

目前,200mm晶圓廠產能緊張,預計2018年下半年的情況類似,并可能持續到2019年。事實上,2018年可能是連續第三年200mm晶圓廠產能緊張的情況。 200mm設備也是如此。

雖然需求狀況似乎是該行業的一個亮點,但這種情況令許多客戶在幾方面感到焦慮。200mm的市場并不涉及300mm晶圓廠生產的前沿芯片,而是在成熟的節點上使用200mm晶圓廠制造大量器件。這些產品包括消費類器件、通信IC和傳感器

在200mm上,有一些復雜的變數。如下所述:

? IDM和無晶圓廠設計公司希望能夠滿足200mm晶圓廠生產芯片的需求。然而,供應商是否能夠滿足所有需求尚不清楚,因為全球200mm晶圓廠產能在現在和未來都將保持緊張。

? 作為回應,GlobalFoundries、三星、中芯國際、TowerJazz、臺積電,聯電等都爭相增加200mm產能。與此同時,新的代工廠商SkyWater Technology也加入了200mm的競爭。

? 即使擁有200mm的產能,行業仍然陷于困境,因為無法在市場上找到足夠的200mm晶圓廠設備。

? 其次,一些芯片制造商無法獲得足夠的200mm產能或設備,于是開始從長計議他們建設新200mm工廠的計劃。相反,他們可能會建造300mm工廠。

對各方來說,這是一種復雜、焦慮的局面。聯電業務管理副總裁Walter Ng表示:“我們看到,200mm仍然供不應求。要找到任何額外的產能是非常具有挑戰性的。這曾經是一個周期性的事情?,F在,由于200mm被充分分配,它已經成為新的規范。我們和業內其他人士認為,這是前進的方向。這不是特殊情況,而是全行業的情況?!?/p>

令人驚訝的是,至少到2030年左右,200mm晶圓廠預計仍然可行。和以前一樣,我們面臨的挑戰是采購200mm設備,而這些設備仍然供不應求。

事實上,200mm的設備需求一段時間以來一直保持強勁,盡管一些人認為在2018年下半年會略有停頓,因為芯片制造商已經對他們的200mm晶圓廠計劃進行了權衡。地緣政治問題也是一個因素。Semico Research制造總經理Joanne Itow表示:“200mm的產能仍然很緊張。有趣的是,對200mm二手設備的需求已經減少了一些?!?/p>

200mm晶圓廠的繁榮

IC市場分為幾個部分。在行業前沿,芯片制造商正在以16nm/ 14nm和300mm晶圓廠生產芯片。在300mm晶圓廠,芯片制造商也在16nm/14nm以上的細分市場生產芯片。

300mm的兩個細分市場都在擴大。Semico Research分析師Adrienne Downey表示:“除了代工廠增加的邏輯芯片產能之外,韓國和中國還增加了大量300mm產能用于存儲器生產。”

但并非所有芯片都需要高級節點。模擬、MEMS、射頻等都是在200mm和更小的晶圓上生產的。然而,對于許多這類器件來說,200mm是最佳選擇。

第一座200mm晶圓廠出現于1990年,晶圓尺寸成為多年的標準。隨著時間的推移,當芯片制造商在21世紀初開始遷移到更先進的300mm晶圓廠時,200mm應該會縮小。到2007年,200mm達到頂峰,市場開始下滑。

對于模擬、MEMS和射頻芯片需求的暴增,制造商將新建300mm晶圓廠

圖1:晶圓尺寸來源的相對差異 (來源:ICE)

然而,2015年末,行業看到了對200mm晶圓廠芯片的意外需求。這使IC供應鏈不堪重負,2016年和2017年造成了200mm 晶圓廠產能的短缺。進入2018年,200mm產能仍然緊張,看不到緩和的跡象。

盡管如此,對200mm的需求已經讓業界大吃一驚,并迫使芯片制造商和晶圓廠工具供應商更加重視該技術。例如,代工廠采用新的改進工藝增加了200mm的產能。然后,幾家晶圓廠工具供應商開始構建新的200mm設備。

SEMI的分析師Christian Gregor Dieseldorff認為,總體上200mm晶圓廠數量預計將從2016年的188個增加到2021年的202個。這個數字包括IDM和代工廠。

對于模擬、MEMS和射頻芯片需求的暴增,制造商將新建300mm晶圓廠

圖2:200mm晶圓廠數量的增長。 (來源:SEMI)

大部分新的200mm晶圓廠都是中國建造的。Dieseldorff表示:“我們目前正在關注在中國建設的四座200mm晶圓廠。用于代工、功率芯片和MEMS。還有兩座已經公布(用于MEMS和功率芯片)。我們預計這些晶圓廠的建設將在今年年底以及明年年底前開始。”

一座典型的200mm晶圓廠每月產生大約40,000個晶圓。這些工廠在各種節點上生產晶圓,范圍從6um到65nm不等。聯電的Ng表示:“180nm / 130nm / 110nm有很多動作,這取決于特定的應用。RF,特別是RF SOI,正在推動大量的產能增長。功率芯片也包括在內。還有像BCD這樣的東西?!?/p>

在200mm,應用正在激增。Applied Materials公司200mm設備產品部戰略和技術營銷總監Mike Rosa表示:“我們看到了擴大的應用空間,例如電動汽車和ADAS,還有不斷添加新功能的智能手機?!?/p>

據Rosa說,在對這些器件的需求中,200mm晶圓廠的利用率在90%上下,有些報告為100%。

據Semico公司的Itow稱,2017年,200mm晶圓的需求增長了9.2%。Itow表示:“模擬器件、分立器件、微控制器光電子和傳感器都對200mm晶圓產能的需求增加起了推動作用?!?/p>

2018年,市場在一定程度上降溫。Itow表示:“2018年200mm晶圓需求將恢復到4.2%增長的歷史水準?!?/p>

對于模擬、MEMS和射頻芯片需求的暴增,制造商將新建300mm晶圓廠

圖3:2018年200mm晶圓需求(按產品類別劃分)(來源:Semico Research)

降溫的原因之一是晶圓廠產能緊張,制造商無法擴張。另外,即使器件制造商想要擴張,也存在設備缺乏的問題。

盡管如此,200mm晶圓廠的產能緊張預計會持續一段時間,特別是在代工廠。GlobalFoundries射頻業務部門高級副總裁Bami Bastani表示:“業內200mm以上的產品被超量訂購。很多東西不需要高級節點?!?/p>

例如,一款智能手機集成了前沿芯片,但這只占器件的一小部分。Bastani表示:“其余的是PMIC、模擬和BCD等技術。你并不想在這些產品中使用更小的幾何尺寸。顧客并不想遷移,直到它們被淘汰。”

一般來說,客戶樂于在廉價的200mm晶圓廠生產這些器件。但晶圓廠沒有足夠的200mm產能,而且利潤低于300mm。

這給代工廠帶來了幾個挑戰。首先,供應商必須繼續投資和升級200mm的各種工藝。比如在汽車領域,客戶想要更新的工藝,即便它是在200mm制造的。Applied Materials公司的Rosa表示:“行業需要繼續投資新技術,但似乎我們不能足夠快地開發這些技術。”

除了投資于新的200mm工藝,代工廠還必須找到增加200mm產能的方法。以下是一些選項:

? 收購擁有200mm晶圓廠的公司。

? 建造新的200mm晶圓廠。

? 增加200mm的產能。

? 將客戶從200mm遷移到300mm。

? 建造300mm的晶圓廠取而代之。

走收購路線是一個想法。多年來,代工廠已經收購了一些公司,以獲得技術和產能。但這是一個昂貴的選擇。聯電的Ng表示:“任何一個擁有8英寸晶圓廠并且正在考慮出售的人都對它有很高的溢價?!?/p>

另一個選擇是新建200mm的晶圓廠。挑戰在于裝備設施,并獲得長期回報。Ng 表示:“如果你打算投資增加產能,問題在于它是否有商業意義。有很多應用推動200mm的產能增長。成本是它的重要組成部分。你可以支持產能增長。但如果它不符合成本效益,那么它就不符合要求?!?/p>

許多代工廠不再走這些路線,而是將一些芯片從200mm移動到300mm。這對一些產品來說是有意義的,但并非所有產品都是如此。Ng 表示:“我們正在努力為200mm的客戶找到解決方案。我們相信其中一部分解決方案將會把這些客戶遷移到有意義的300mm平臺上。”

對于某些芯片而言,將它們遷移到300mm毫無意義?!?00mm的很多應用對成本非常敏感。所以,這對于做任何事情都是一個挑戰。舉例來說,一些功率分立元件永遠不會遷移?!?/p>

然后,在200mm的所有問題中,有些人甚至重新考慮他們的200mm晶圓廠計劃。他們甚至正在考慮建造300mm的工廠,這也是一個昂貴的選擇。Applied Materials公司的Rosa表示:“如果你關注300mm,你的設備成本會增加,在你開始考慮你可能需要的技術的可用性和準備性之前就會發現?!?/p>

同時,代工廠客戶也面臨一些挑戰。除了從供應商那里獲得足夠的產能外,客戶還必須評估代工工藝。每個代工廠都不同,都會提供各種功能。

另外,競爭中也有一些新玩家。去年,SkyWater收購了位于明尼蘇達州布盧明頓的賽普拉斯半導體的200mm晶圓廠。此前,賽普拉斯在布盧明頓的晶圓廠提供代工服務。

隨著這座晶圓廠的收購,SkyWater將提供代工服務。它將自己定位為專業代工廠,擁有CMOS工藝以及生物技術、硅光子學、量子計算和超導技術。

SkyWater擁有一座200mm工廠,擁有0.35um,90nm等工藝。SkyWater總裁Thomas Sonderman表示:“如果你看一些代工廠,它們的產量很高,但它們不喜歡定制。定制能力是你花很多錢才能買到的。鑒于你的規模,他們可能不會感興趣?!?/p>

Sonderman 表示:“我們有能力在高產能環境中進行開發。賽普拉斯擁有它時,晶圓廠掌握的其中一項功能就是可以做大量的低產量的產品,并且仍具有世界一流的產量。以我們的模式,我們可以以極具競爭力的價格為客戶提供合適的產品種類。但我們在某種程度上提供了ASIC能力和專業技術能力。”

行業急需的:200mm設備

同時,IDM和代工廠希望擴大200mm的產能。那么你可以在哪里購買200mm的設備?

芯片制造商可以從晶圓廠設備制造商、二手設備公司、經紀商或通過eBay等在線網站購買二手設備。一些芯片制造商也在公開市場銷售二手設備。

近來,Applied Materials、ASML、KLA-Tencor、Lam Research、TEL和其他設備制造商已經在制造新的200mm設備。

據二手設備供應商SurplusGlobal稱,在2018年初,該行業需要大約2,000種新的或翻新的200mm工具來滿足工廠的需求。但是,到2018年初,市場上只有500種可用的200mm工具。

SurplusGlobal的美洲和歐洲執行副總裁Emerald Greig表示:“我們仍然認為這是事實。我們繼續看到200mm的需求沒有得到滿足。盡管我們看到美國和歐洲的需求也在增長,但IDM和中國確實在推動這一趨勢?!?/p>

這一周期的不同之處在于,在2018年下半年,200mm設備的需求前景并不明朗。Greig表示:“由于地緣政治因素,我們預計下半年將略有放緩,我們會看到市場暫停,因為要重新評估安裝200mm或300mm設備。”

其他人則更為樂觀。Rosa表示:“市場非常強勁。在200mm,我們將至少度過我們最強的一年?!?/p>

無論短期前景如何,200mm預計將在一段時間內保持可行,所以晶圓廠經理必須采購設備和備件以滿足需求。從供應商購買200mm工具歸結為幾個因素——質量、信譽和服務。即便如此,無論是從OEM,二手設備供應商還是其他地方購買設備都面臨挑戰。

Rosa表示:“二手市場上的核心可以在任何一個國家。譜線的一端可以是新設備。另一端可以是原始設備,中間是一切。然后,我們看到200mm平臺的可用性正在枯竭。這會如何?這增加了交貨時間,迫使二手設備的價格上漲。”

并非所有200mm設備供應商都是一樣的。一些提供新的工具,而另一些則翻新現有的工具。甚至有一些公司銷售的系統是不合格的,或者根本就不工作。

Rosa表示:“工具需求有兩種。有純粹的產能增加工具。如果只是單一的產能增加,就會很簡單。如果是一項需要新技術的產能增加,那么它就在二手市場上無法找到。”

與此同時,Applied Materials公司也在制造新的200mm設備,并在各個細分市場進行翻新。通常情況下,這是一項按訂單生產的業務,交付周期從12周到16周不等。

在某些情況下,Applied Materials公司將從頭開始構建新的200mm工具。Rosa表示:“這增加了交貨時間和價格。當Applied Materials公司只做200mm的時候,我們會看到工具ASP接近成型。”

其他人也看到了市場的發展。Lam Research副總裁兼Reliant產品部總經理Evan Patton表示:“在可預見的未來,我們將看到200mm業務持續增長。我們的規劃目標是2030年,有一些跡象表明,日期還會進一步推遲。這就是為什么我們繼續大力投資于支持技術、提高生產率和淘汰解決方案的原因。”

盡管Lam正在跟上訂單的速度,但200mm工具的需求依然旺盛。Patton表示:“雖然二手市場上可能缺少二手工具,但Lam的產品組合中并不缺少200mm設備?!?/p>

Lam正在開發新的和翻新的200mm工具,如蝕刻、沉積和清洗。Patton表示:“我們正在投資開發新的工具,以支持汽車、物聯網和射頻市場的先進設備?!?/p>

至于200mm設備的繁榮將持續多久仍是個問題。就目前而言,今年和明年的業務看起來不錯。TEL高級副總裁兼副總經理Kevin Chasey表示:“我們認為2019年對于設備供應商和IDM來說是又一個強勁的一年。由于IDM試圖將新工具擠入他們的生產車間,晶圓廠空間變得緊張起來?!?/p>

Chasey 表示:“TEL通過解決工具效率和可用性來滿足這一需求。為了提高效率,TEL正在發布OEE(整體設備效率)硬件和軟件升級,旨在改善傳統安裝基礎。此外,TEL正在重新發布更新的工具平臺,以確保我們的客戶在未來10年乃至更長時間內擁有現代化的、完全支持的工具集。”

TEL提供一系列200mm系統,如沉積,蝕刻和清洗等。許多平臺都能夠運行100mm / 200mm晶圓襯底。

雖然200mm的設備需求看起來很正常,但供應商們正密切關注可能影響訂單率的情況。KLA-Tencor公司市場營銷,成熟服務,系統和改進的高級營銷總監Ian O‘Leary表示:“由于200mm晶圓預計將持續增長到2021年,我們預計未來幾年將持續需求200mm的產能。”

O ’Leary表示:“最終,在200mm細分市場中,一些需求驅動因素目前與更大的設計規則設備相關聯,可能會轉向300mm晶圓和前沿節點。一個例子是對各種汽車芯片的需求迅速增長,跨越了低端到高端的應用。對于汽車芯片而言,從成本分析的角度來看,從200mm向300mm的遷移一直很緩慢,但我們繼續密切關注這些趨勢,以便我們的業務與市場需求保持一致。”

汽車設備制造商仍然需要200mm,特別是在缺陷檢測領域。 在汽車領域,OEM廠商要求芯片零缺陷。

通常,設備制造商使用晶圓檢測設備來檢測缺陷。O ‘Leary表示:“在這個領域,200mm晶圓廠也需要300mm晶圓廠所需的許多工具模型?!?/p>

為了找到110nm工藝中的潛在缺陷,工廠需要65nm的缺陷檢測能力。所以,KLA-Tencor需要建立具有300mm能力的200mm檢測工具。

很明顯,200mm需要保留。很多芯片需要長時間在200mm工廠中使用成熟工藝。然而仍然有待觀察的是,行業是否能在供應鏈中獲得一席之地。

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