電子倍增器技術

顧名思義，電子倍增器的作用是將檢測到的離子或電子信號倍增(或放大)到可以處理成數據的水平。

電子倍增器依靠“倍增電極”和“二次發射”的原理。“倍增電極”只是真空中的電極，當具有足夠 m/z(質荷比)和動能的離子或電子撞擊電子倍增器內通道壁表面時，它會發射電子。此過程中發射的電子稱為“二次發射”。電子倍增器將這些倍增電極(連續倍增電極)串聯在一起，以便二次發射過程反復發生，從而沿途每一步都以指數方式放大電子數量。

微通道板

微通道板是微型電子倍增器通道陣列，每個通道都充當連續的倍增電極鏈。緊湊的通道結構可實現較高的空間和時間分辨率以及對磁場的穩定性。

40 多年來，Photonis 憑借微通道板技術引領電子倍增產品行業。如今，Long-Life? 微通道板正在為性能和使用壽命樹立行業標準。設計和制造 MCP 方面無與倫比的專業知識確?？蛻臬@得最靈敏、最可靠的放大設備。Photonis 專門提供定制格式的 MCP，以滿足特定儀器的要求。下表顯示了 Photonis 的一些功能：

基于 MCP 的探測器(高級性能探測器)

每個 Photonis MCP 探測器均采用 LongLife? 微通道板設計，可提供市場上最高的靈敏度。這些完整的探測器組件可用于各種應用，以檢測帶電粒子和電磁輻射，范圍從質譜到紫外線和 X 射線天文學。這些探測器設計用于真空系統，并在高溫條件下繼續有效運行(300°C - 腔體清潔時達到的溫度)，因此節省了從儀器中移除探測器所需的時間。

Channeltron? 通道電子倍增器

Channeltron? 通道電子倍增器 (CEM) 使用與微通道板相同的工作原理，但設計為使用單通道而不是陣列進行電子倍增。Photonis 擁有各種各樣的 Channeltrons?，由內部開發和生產的特殊配方玻璃制成。由于其質量低、增益高，Channeltrons? 還用于許多核物理實驗室和空間應用中，以脈沖模式操作計數電子和帶電粒子。其他應用包括殘余氣體分析、等離子分析、俄歇、電子能譜儀、SEM、FIB 和泄漏檢測器。

電子顯微鏡和電子束系統的探測器

Exosens 提供多種電子和離子檢測平臺，適用于掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、聚焦離子束工具和半導體行業的電子束系統。

基于閃爍體的電子探測器將電子吸引到閃爍體板上，從而產生放大的光子信號。然后，照片被導向光子傳感器，光子傳感器將信號轉換回電子并進行放大。

這種基本檢測方案可以通過各種閃爍體和各種光子傳感器來實現。傳統的實現方式是 Everhart Thornley 檢測方案，通常用于檢測 SEM 腔中的二次電子并提供樣本的地形圖像。

更先進的實現是柱內背散射電子 (BSE) 探測器，它可以濾除低能電子并提供干凈的 BSE 信號，從而在 SEM 圖像中提供材料對比度。

其他實現將信號分成幾個部分，并使用 ScintiFast? 和超快無機閃爍體來支持快速掃描和成像。此類實現在半導體行業的計量和檢查電子束系統中很常見。

固態檢測技術也已推出。該技術允許靈活設計和分割探測器的有效區域。它常用于背散射電子探測器以及 SEM 和高能掃描透射電子顯微鏡 (TEM) 中的透射電子探測器。

審核編輯 黃宇