在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，碳化硅（SiC）因其卓越的高溫、高頻、高壓特性而備受關(guān)注，尤其是在電動汽車、電力傳輸、高頻通信等領(lǐng)域的應(yīng)用前景廣闊。然而，SiC的生產(chǎn)和加工過程一直面臨著諸多挑戰(zhàn)。近期，國內(nèi)外研究團(tuán)隊和企業(yè)在8英寸SiC工藝方案上取得了新的突破，有望大幅提升生產(chǎn)效率和降低成本。

瑞士的Synova SA公司憑借其LCS 305 5軸系統(tǒng)，在SiC襯底倒角加工技術(shù)上實現(xiàn)了重要突破。該公司獨家的水射流引導(dǎo)激光技術(shù)（LMJ）將加工時間縮短至驚人的5分鐘。這項技術(shù)利用激光與低壓水射流的結(jié)合，不僅有效提升了加工速度，還能保持工件的冷卻，防止熱損傷，并沖走燒蝕材料，確保邊緣磨削的高質(zhì)量。對于直徑為200毫米、厚度為0.5毫米的單晶SiC襯底，LCS 305設(shè)備能夠在極短時間內(nèi)完成包括縮小晶圓尺寸、邊緣斜切、輪廓加工和切割等工序，展現(xiàn)了其在SiC生產(chǎn)領(lǐng)域的強(qiáng)大潛力。

與此同時，日本的Mipox公司也推出了針對8英寸SiC襯底的穩(wěn)定倒角方案。該公司通過獨特的拋光膜和設(shè)備，實現(xiàn)了碳化硅襯底切口及邊緣的穩(wěn)定倒角。該方法不僅能夠連續(xù)倒角，無需擔(dān)心磨料磨損，而且加工后襯底之間的差異幾乎不存在。此外，Mipox的倒角方案還能保持原有雕刻的切口形狀，與激光切割方式兼容性好，且預(yù)計產(chǎn)量（加工能力和加工速度）將提高約5倍。該方案不僅提高了SiC襯底的生產(chǎn)效率，還有助于減少晶體或切口損壞的風(fēng)險。

在學(xué)術(shù)研究方面，哈爾濱工業(yè)大學(xué)和中國電子科技集團(tuán)的聯(lián)合研究團(tuán)隊也取得了重要進(jìn)展。他們通過數(shù)值模擬和實驗研究，探索了降低8英寸SiC單晶基面位錯（BPD）密度的方法。BPD會降低SiC器件的性能，并限制其應(yīng)用。研究團(tuán)隊發(fā)現(xiàn)，通過加快冷卻速度、優(yōu)化籽晶鍵合方法和采用熱膨脹系數(shù)較小的石墨坩堝，可以將BPD密度從4689cm ?2降低到704cm ?2。這一突破有助于減少SiC單晶的缺陷，提高晶體生長良率，對于實現(xiàn)SiC的產(chǎn)業(yè)規(guī)模應(yīng)用具有重要意義。

這三種新工藝方案的推出，標(biāo)志著8英寸SiC生產(chǎn)在技術(shù)創(chuàng)新上邁出了重要一步。它們不僅提高了SiC襯底的生產(chǎn)效率和加工質(zhì)量，還有助于降低生產(chǎn)成本，推動SiC在更多領(lǐng)域的應(yīng)用。隨著這些技術(shù)的不斷成熟和普及，我們有理由相信，SiC將在未來半導(dǎo)體材料領(lǐng)域發(fā)揮更加重要的作用。同時，這也將激發(fā)更多的企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)投入到SiC的研發(fā)和生產(chǎn)中，推動整個行業(yè)的快速發(fā)展。