中科微感MEMS氣體傳感器量產技術再次突破瓶頸，良品率接近98%
中科微感金屬氧化物基MEMS氣體傳感器量產技術再次突破瓶頸。以CM-A107S氫氣傳感器為例，晶圓級萬顆批量生產，單顆LGA封裝的MEMS氫氣傳感器初始阻值和響應值一致性偏差逼近5%，良品率接近98%。本量產技術的突破，為人工智能嗅覺傳感器的普遍應用推廣打下堅實基礎，為未來氣味數字化應用提供了標準化和低成本的硬件解決方案。
隨機抽取70顆CM-A107S氫氣傳感器（LGA封裝），進行空氣中每顆阻值和500 ppm氫氣響應值測試統計，結果如下圖所示。
審核編輯：劉清
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原文標題：中科微感MEMS氣體傳感器量產技術再次突破瓶頸，批量一致性偏差逼近5%，良品率接近98%
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