佳能去年10月發布了采用納米壓印技術的FPA-1200NZ2C,該設備工作原理區別于傳統光刻機,無須依賴光學圖像投影實現芯片微觀結構轉移,而更接近印刷工藝,通過壓制印出圖案,能制造出5nm芯片。
佳能近日表示,計劃年內或明年上市使用納米壓印技術的光刻設備FPA-1200NZ2C。對比已商業化的EUV光刻技術,雖然納米壓印的制造速度較傳統方式緩慢,但由于制程簡化,耗電僅為EUV的十分之一,且投資額也僅為EUV設備的四成。因此,佳能此舉有望擊敗市場競爭對手,使得高端芯片生產價格更為親民。
該項目由佳能工業部門負責人竹西宏明親自領導。宏明明確表示:“期望今年或明年在市場熱度下啟動出貨。這一獨特技術,將助力尖端芯片生產變得更為簡易和經濟實惠。”他還指出,這項關鍵性技術成功與否的關鍵在于能否打動潛在客戶,使他們愿意將其引入現有生產線。
據悉,初步階段,佳能將利用該技術生產3D NAND存儲器芯片,并非復雜的處理器。宏明透露,佳能在15年時間內持續研發這一領域,若能成功實現商業化應用,有望扭轉競爭態勢,幫助新興企業以更低的成本打造領軍半導體產品。然而,新設備的缺陷率、集成難度以及地緣政治影響等因素,仍需考量其中,才能確定佳能能否在此次重大競爭中突出重圍。
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