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半導體資料丨氧化鋅、晶體硅/鈣鈦礦、表面化學蝕刻的 MOCVD GaN

華林科納半導體設備制造 ? 來源:華林科納半導體設備制造 ? 作者:華林科納半導體設 ? 2024-02-02 17:56 ? 次閱讀
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蝕刻時間和過氧化氫濃度對ZnO玻璃基板的影響

本研究的目的是確定蝕刻ZnO薄膜的最佳技術。使用射頻濺射設備在玻璃基板上沉積ZnO。為了蝕刻ZnO薄膜,使用10%、20%和30%的過氧化氫(H2O2)濃度,蝕刻時間為30秒和60秒。經過一定量的蝕刻后,光學帶隙降低,這表明薄膜的結晶度質量有所提高。利用OPAL 2模擬器研究了不同ZnO厚度對樣品光學性能的影響。與其他不同厚度的ZnO層相比,OPAL 2模擬表明,400nm的ZnO層在UV波長范圍內具有最低的透射率。

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晶體硅/黑硅/鈣鈦礦串聯結構的光學模擬與實驗研究

在這項工作中,使用轉移矩陣方法對這些結構的光學性質進行了建模,其中b-Si夾層的錐形納米針陣列近似為均勻光學介質,其有效復折射率是Si和鈣鈦礦的加權平均值。得到了串聯結構反射、透射和吸收的解析方程。將該結構的模擬反射光譜與沒有b-Si層的結構的反射光譜以及實驗數據進行了比較。數值計算和實驗證實,納米織構顯著改善了串聯結構的光學性能。wKgZomWo8xmARQtpAAAWTN4CWRY90.webp

表面化學蝕刻的 MOCVD GaN 結構的發光特性

本工作旨在通過濕蝕刻方法改善MOCVD GaN的閃爍特性。發現了一個額外的藍色光致發光(B-PL)帶,峰值在2.7–2.9 eV,并與位錯有關。該B-PL帶強度似乎取決于濕法蝕刻暴露。當在相當低的溫度下記錄時,B-PL的強度顯著增強。這一發現類似于B-PL中心的PL熱猝滅。通過協調互補光電離和PL光譜技術,研究了閃爍強度和光譜變化的機制。

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關鍵詞:氮化鎵、濕式蝕刻、光致發光、脈沖光電離光譜學、過氧化氫、濕式蝕刻、氧化鋅薄膜、射頻濺射、玻璃基板、晶體硅、黑硅、鈣鈦礦

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