EBSD技術是一種常用的材料顯微技術，全稱電子背散射衍射。它通過測量反射電子的角度和相位差來確定樣品的晶體結構和晶粒取向等特征。與傳統的掃描電鏡技術相比，EBSD技術具有更高的空間分辨率，可以獲得亞微米級的晶體學數據。

EBSD技術的主要特點是在保留掃描電子顯微鏡常規特征的同時，利用電子回旋衍射效應對反射電子進行衍射分析，以獲得晶體學信息。該技術不僅可以提供樣品的晶體結構和晶粒取向等信息，而且可以同時獲得晶粒尺寸和形貌等重要參數。因此，在材料科學領域，EBSD技術已成為不可或缺的工具，被廣泛應用于材料結構和性能的研究。

電子背散射衍射花樣(EBSD)

在掃描電子顯微鏡(SEM)中，電子束入射到樣品上時，與樣品的相互作用會產生多種效應。其中之一是電子在規則排列的晶格面上的衍射。所有晶面上的衍射構成了所謂的“衍射圖樣”，它可以被認為是晶體中原子平面之間的角度關系圖。

衍射花樣包含了晶系(如立方、六方等)的對稱性信息。此外，晶面和晶帶軸之間的夾角與晶系類型和晶體的晶格參數有直接對應關系。這些數據可用于通過EBSD技術對晶相進行鑒定。對于一個已知的晶相，衍射圖樣的取向直接對應于晶體的取向。

EBSD系統組成

為了實現EBSD技術，我們需要一套系統設備，其基本要求包括掃描電子顯微鏡和EBSD系統。

該系統設備的核心是掃描電子顯微鏡，它產生高能電子束并將其聚焦于樣品表面。EBSD系統的硬件部分通常由一個敏感的CCD攝像機和一個圖像處理系統組成。CCD相機用于捕獲掃描電子顯微鏡產生的反射電子圖像。圖像處理系統用于對圖像進行模式平均和背景相減，提取清晰的衍射圖樣。

通過該系統和設備，EBSD技術可以獲得精確的衍射圖樣數據，進而分析晶體的結構和取向。這為材料研究提供了重要的工具和手段。

在掃描電子顯微鏡中，獲得電子背散射衍射圖樣的基本操作非常簡單。為了增強背散射(即衍射)信號，樣品相對于入射電子束以較大的角度傾斜。通過這種方式，EBSP信號被充分增強以被熒光屏拾取。該顯示屏與CCD攝像機相連，可直接在顯示屏上觀察EBSP，也可將圖像放大并存儲后在顯示屏上觀察。。軟件程序以最小的輸入量，就可以對圖形進行校準，從而獲得晶體學信息。目前，最快的EBSD系統每秒可測量700~900個點。

現代的EBSD系統和探針可以同時安裝在掃描電子顯微鏡上。這意味著在快速獲得樣品取向信息的同時，還可以進行成分分析。這使得研究人員能夠在同一臺設備上獲得更全面的樣品表征數據。

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